Khi các nhà sản xuất chất bán dẫn tiếp tục hướng tới các công nghệ đóng gói tiên tiến, bao gồm tích hợp chiplet, liên kết flip-chip và kiến ​​trúc IC 3D, nhu cầu về cơ sở hạ tầng đông lạnh có độ tin cậy cao trở nên quan trọng hơn bao giờ hết. Trong môi trường này, các hệ thống được xây dựng xung quanhHL CryogenicỐng bọc chân không, ống cách nhiệt, bộ tách, van và hộp van đóng vai trò cơ bản trong việc duy trì độ chính xác nhiệt và sự ổn định vận hành.

Kiểm soát nhiệt độ cực thấp trong các dây chuyền đóng gói độ chính xác cao

Việc đóng gói và kiểm tra chip hiện đại thường liên quan đến việc tiếp xúc với sự thay đổi nhiệt độ khắc nghiệt, đặc biệt là trong quá trình chu kỳ nhiệt, kiểm tra độ tin cậy và đặc tính hóa ở nhiệt độ thấp. Chức năng chính của HL Cryogenic là...ống cách nhiệt chân khôngMục đích là cung cấp chất lỏng đông lạnh, thường là nitơ lỏng, đồng thời giảm thiểu sự xâm nhập nhiệt từ môi trường phòng sạch xung quanh.

Nhờ mức độ chân không cao và thiết kế cách nhiệt nhiều lớp, HL Cryogenic mang lại hiệu quả vượt trội.ống bọc chân khôngHệ thống này ngăn chặn hiệu quả sự thất thoát nhiệt, giữ cho chất lỏng ở trạng thái lỏng ổn định trên quãng đường dài. Điều này đảm bảo hiệu suất làm mát nhất quán trên nhiều trạm thử nghiệm, loại bỏ sự thay đổi nhiệt độ có thể ảnh hưởng đến dữ liệu hiệu suất của chất bán dẫn.

Trong môi trường thử nghiệm nhạy cảm với sự mỏi vật liệu, ngay cả một sự dao động nhỏ về nhiệt độ cũng có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của phép đo. Đó là lý do tại sao ngày càng nhiều cơ sở thử nghiệm chuyển sang sử dụng hệ thống đường ống cách nhiệt chân không HL Cryogenic như một giải pháp lâu dài để cung cấp chất làm lạnh ổn định.

Độ ổn định pha được đảm bảo bởiBộ tách pha

Trong quá trình hoạt động, một phần chất lỏng đông lạnh chắc chắn sẽ bay hơi do hấp thụ nhiệt độ môi trường xung quanh. Một thiết bị đông lạnh HLbộ tách phaNó đóng vai trò quan trọng trong việc tách hơi khỏi chất lỏng trước khi chúng đến các thiết bị quan trọng. Điều này đảm bảo rằng chỉ có chất lỏng được làm lạnh dưới điểm sôi mới đi vào các buồng thử nghiệm nhạy cảm và các trạm thăm dò.

Bằng cách ngăn chặn dòng chảy hai pha, bộ tách pha HL Cryogenic cải thiện đáng kể khả năng lặp lại của quy trình và bảo vệ các thành phần điều khiển phía sau khỏi sự bất ổn của dòng chảy. Điều này ngày càng trở nên quan trọng khi kích thước thiết bị thu nhỏ và dung sai ngày càng nhỏ hơn trong các công nghệ nút tiên tiến.

An toàn vận hành được quản lý bởiVanVàHộp van

Lưu lượng và áp suất của chất lỏng đông lạnh bên trong hệ thống đường ống chân không có lớp vỏ bọc của HL Cryogenic được điều chỉnh bằng các van HL Cryogenic được thiết kế đặc biệt. Các bộ phận này được thiết kế để hoạt động đáng tin cậy trong điều kiện nhiệt độ cực thấp và chuyển đổi nhiệt nhanh.

Để tăng cường hơn nữa độ an toàn và khả năng tiếp cận hệ thống, mỗi van HL Cryogenic được đặt bên trong một hộp van HL Cryogenic cách nhiệt. Hộp van bảo vệ van khỏi sự xâm nhập của hơi ẩm, giảm sự tích tụ băng giá và cho phép kỹ thuật viên thực hiện kiểm tra và điều chỉnh mà không làm ảnh hưởng đến sự cân bằng nhiệt của các khu vực xung quanh.

Cấu hình nhỏ gọn, dạng mô-đun này cũng phù hợp với những hạn chế nghiêm ngặt về không gian thường thấy trong các nhà máy đóng gói chất bán dẫn và môi trường phòng sạch.

Lựa chọn cơ sở hạ tầng thông minh cho các cơ sở sản xuất bán dẫn tiên tiến.

Khi ngành công nghiệp hướng tới mật độ tích hợp cao hơn và các tiêu chuẩn thử nghiệm khắt khe hơn, cơ sở hạ tầng đông lạnh không còn là vấn đề thứ yếu nữa. Các nhà sản xuất bán dẫn đầu tư vào ống cách nhiệt chân không HL Cryogenic, HL Cryogenicống bọc chân không, bộ phân tách, van, Vàhộp vanCác hệ thống này đạt được những lợi thế có thể đo lường được về hiệu quả, an toàn và kiểm soát chi phí dài hạn.

Trong môi trường sản xuất cạnh tranh, sự ổn định của mạng lưới làm lạnh có thể ảnh hưởng đến năng suất sản phẩm, tuổi thọ thiết bị và tính nhất quán trong vận hành — điều này khiến các giải pháp làm lạnh của HL trở thành một phần thiết yếu của cơ sở hạ tầng bán dẫn.