Các hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn & chip, bao gồm cả quá trình,
- Công nghệ Epitaxy tia phân tử (MBE)
- Kiểm tra chip sau gói COB
Những sảm phẩm tương tự
Dòng ống cách nhiệt chân không
Dòng ống mềm cách nhiệt chân không
Hệ thống bơm chân không động
Dòng máy tách pha cách điện chân không
Dòng van cách nhiệt chân không
Thiết bị hỗ trợ hệ thống đường ống
CHÙM EPITAXY PHÂN TỬ
Công nghệ Molecular Beam Epitaxy (MBE) được phát triển vào những năm 1950 để điều chế vật liệu màng mỏng bán dẫn sử dụng công nghệ bay hơi chân không.Với sự phát triển của công nghệ chân không cực cao, ứng dụng của công nghệ đã được mở rộng sang lĩnh vực khoa học bán dẫn.
HL đã nhận thấy nhu cầu của hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng MBE, tổ chức xương sống kỹ thuật để phát triển thành công hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng MBE đặc biệt cho công nghệ MBE và một bộ hoàn chỉnh hệ thống đường ống cách nhiệt chân không, đã được sử dụng trong nhiều doanh nghiệp, trường đại học và viện nghiên cứu .
Các vấn đề phổ biến của ngành công nghiệp bán dẫn & chip bao gồm,
- Áp suất của Nitơ lỏng vào Thiết bị đầu cuối (MBE).Ngăn ngừa tình trạng quá tải áp suất làm hư hỏng thiết bị đầu cuối (MBE).
- Nhiều điều khiển đầu vào và đầu ra chất lỏng đông lạnh
- Nhiệt độ của nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối
- Một lượng phát thải khí đông lạnh hợp lý
- (Tự động) Chuyển đổi các dòng chính và nhánh
- Điều chỉnh áp suất (Giảm) và ổn định của VIP
- Làm sạch các tạp chất có thể có và cặn băng từ bể
- Thời gian làm đầy thiết bị đầu cuối chất lỏng
- Làm lạnh sơ bộ đường ống
- Kháng chất lỏng trong hệ thống VIP
- Kiểm soát sự thất thoát nitơ lỏng trong quá trình bảo dưỡng hệ thống không liên tục
Ống cách nhiệt chân không (VIP) của HL được chế tạo theo tiêu chuẩn ASME B31.3 Mã đường ống áp suất.Kinh nghiệm kỹ thuật và khả năng kiểm soát chất lượng để đảm bảo hiệu quả và tiết kiệm chi phí cho nhà máy của khách hàng.
CÁC GIẢI PHÁP
HL Cryogenic Equipment cung cấp cho khách hàng Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không để đáp ứng các yêu cầu và điều kiện của ngành công nghiệp bán dẫn & chip:
1. Hệ thống quản lý chất lượng: Mã đường ống áp suất ASME B31.3.
2. Bộ tách pha đặc biệt với nhiều đầu vào và đầu ra chất lỏng đông lạnh với chức năng điều khiển tự động đáp ứng yêu cầu về khí thải, nitơ lỏng tái chế và nhiệt độ của nitơ lỏng.
3. Thiết kế ống xả phù hợp và kịp thời đảm bảo rằng thiết bị đầu cuối luôn hoạt động trong giá trị áp suất thiết kế.
4. Rào chắn khí-lỏng được đặt trong ống VI thẳng đứng ở cuối đường ống VI.Rào chắn khí-lỏng sử dụng nguyên lý bịt kín khí để chặn nhiệt từ cuối đường ống VI vào Đường ống VI và giảm hiệu quả sự thất thoát nitơ lỏng trong quá trình bảo dưỡng hệ thống không liên tục và không liên tục.
5. Đường ống VI được điều khiển bởi Sê-ri Van cách nhiệt chân không (VIV): Bao gồm Van ngắt cách nhiệt chân không (Khí nén), Van kiểm tra cách nhiệt chân không, Van điều chỉnh cách nhiệt chân không, v.v. Nhiều loại VIV khác nhau có thể được kết hợp theo mô-đun để điều khiển VIP như yêu cầu.VIV được tích hợp với chế tạo sẵn VIP trong nhà sản xuất, không cần xử lý cách nhiệt tại chỗ.Bộ phận làm kín của VIV có thể được thay thế dễ dàng.(HL chấp nhận nhãn hiệu van đông lạnh do khách hàng chỉ định, sau đó HL sản xuất van cách nhiệt chân không. Một số nhãn hiệu và kiểu van có thể không được chế tạo thành van cách nhiệt chân không.)
6. Độ sạch, nếu có yêu cầu bổ sung về độ sạch bề mặt ống bên trong.Chúng tôi đề nghị khách hàng chọn ống thép không gỉ BA hoặc EP làm ống bên trong VIP để giảm hơn nữa sự cố tràn thép không gỉ.
7. Bộ lọc cách nhiệt chân không: Làm sạch các tạp chất và cặn đá có thể có trong bể.
8. Sau một vài ngày hoặc lâu hơn khi ngừng hoạt động hoặc bảo trì, cần phải làm lạnh sơ bộ Đường ống VI và thiết bị đầu cuối trước khi đưa chất lỏng đông lạnh vào, để tránh xỉ đá sau khi chất lỏng đông lạnh đi trực tiếp vào Đường ống VI và thiết bị đầu cuối.Chức năng làm lạnh sơ bộ nên được xem xét trong thiết kế.Nó cung cấp khả năng bảo vệ tốt hơn cho thiết bị đầu cuối và thiết bị hỗ trợ đường ống VI như van.
9. Phù hợp cho cả Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không động và tĩnh (linh hoạt).
10. Hệ thống đường ống (linh hoạt) cách nhiệt chân không động: Bao gồm ống mềm VI và/hoặc ống VI, ống nhảy, hệ thống van cách nhiệt chân không, bộ tách pha và hệ thống bơm chân không động (bao gồm bơm chân không, van điện từ và đồng hồ đo chân không, v.v. ).Chiều dài của Ống mềm VI đơn có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của người dùng.
11. Các loại kết nối khác nhau: Có thể chọn Loại kết nối lưỡi lê chân không (VBC) và Kết nối hàn.Loại VBC không cần xử lý cách nhiệt tại chỗ.