Tóm tắt về epitaxy phân tử (MBE)
Công nghệ của epitaxy chùm phân tử (MBE) đã được phát triển vào những năm 1950 để chuẩn bị vật liệu màng mỏng bán dẫn bằng công nghệ bay hơi chân không. Với sự phát triển của công nghệ chân không cực cao, việc áp dụng công nghệ đã được mở rộng cho lĩnh vực khoa học bán dẫn.
Động lực của nghiên cứu vật liệu bán dẫn là nhu cầu về các thiết bị mới, có thể cải thiện hiệu suất của hệ thống. Đổi lại, công nghệ vật liệu mới có thể sản xuất thiết bị mới và công nghệ mới. Epitaxy dầm phân tử (MBE) là một công nghệ chân không cao cho sự tăng trưởng lớp epiticular (thường là chất bán dẫn). Nó sử dụng chùm nhiệt của các nguyên tử nguồn hoặc các phân tử tác động đến chất nền đơn. Các đặc tính chân không cực cao của quá trình cho phép luyện kim tại chỗ và sự phát triển của vật liệu cách điện trên các bề mặt bán dẫn mới được trồng, dẫn đến giao diện không có ô nhiễm.
Công nghệ MBE
Epitaxy chùm phân tử được thực hiện trong chân không cao hoặc chân không cao (1 x 10-8Pa) môi trường. Khía cạnh quan trọng nhất của epitaxy chùm phân tử là tốc độ lắng đọng thấp của nó, thường cho phép màng phát triển epiticular với tốc độ dưới 3000nm mỗi giờ. Tốc độ lắng đọng thấp như vậy đòi hỏi một khoảng trống đủ cao để đạt được mức độ sạch tương tự như các phương pháp lắng đọng khác.
Để đáp ứng khoảng trống siêu cao được mô tả ở trên, thiết bị MBE （Tế bào Knudsen có lớp làm mát và môi trường chân không cực cao của buồng tăng trưởng phải được duy trì bằng hệ thống lưu thông nitơ lỏng. Nitơ lỏng làm mát nhiệt độ bên trong của thiết bị đến 77 Kelvin (−196 ° C). Môi trường nhiệt độ thấp có thể làm giảm thêm hàm lượng tạp chất trong chân không và cung cấp các điều kiện tốt hơn cho sự lắng đọng của màng mỏng. Do đó, một hệ thống lưu thông làm mát nitơ lỏng chuyên dụng là cần thiết cho các thiết bị MBE để cung cấp nguồn cung cấp chất lỏng -196 ° C liên tục và ổn định.
Hệ thống lưu thông làm mát nitơ lỏng
Hệ thống lưu thông làm mát nitơ chất lỏng chân không chủ yếu bao gồm,
● Bể đông lạnh
● Ống áo khoác / ống chân không chính và chi nhánh
● Bộ tách pha đặc biệt MBE và ống xả có chân không
● Các van có áo khoác chân không khác nhau
● Hàng rào khí lỏng
● Bộ lọc áo khoác chân không
● Hệ thống bơm chân không động
● Hệ thống hâm nóng đầu tiên và thanh lọc
Công ty Thiết bị Cryogen HL đã nhận thấy nhu cầu của hệ thống làm mát nitơ lỏng MBE, xương sống kỹ thuật được tổ chức để phát triển thành công một hệ thống tăng cường nitơ mbe đặc biệtedHệ thống đường ống, đã được sử dụng trong nhiều doanh nghiệp, trường đại học và viện nghiên cứu.
Thiết bị đông lạnh HL
Thiết bị tạo lạnh HL được thành lập vào năm 1992 là một thương hiệu liên kết với Công ty Thiết bị Cryogen Holy Holy tại Trung Quốc. Thiết bị đông lạnh HL được cam kết thiết kế và sản xuất hệ thống đường ống lạnh cách nhiệt cao và thiết bị hỗ trợ liên quan.
Để biết thêm thông tin, vui lòng truy cập trang web chính thứcwww.hlcryo.com, hoặc gửi email đếninfo@cdholy.com.
Thời gian đăng: Tháng 5-06-2021
