Tin tức - Dự án Chip MBE đã hoàn thành trong những năm qua

Công nghệ

Epitaxy chùm phân tử, hay MBE, là một kỹ thuật mới để phát triển các màng mỏng tinh thể chất lượng cao trên các chất nền tinh thể. Trong điều kiện chân không cực cao, bằng lò sưởi được trang bị đủ loại thành phần cần thiết và tạo ra hơi nước, thông qua các lỗ được hình thành sau khi chùm tia nguyên tử hoặc phân tử hội tụ, tiêm trực tiếp đến nhiệt độ thích hợp của chất nền tinh thể đơn, kiểm soát chùm tia phân tử đến chất nền quét cùng lúc, nó có thể làm cho các phân tử hoặc nguyên tử trong các lớp căn chỉnh tinh thể tạo thành một màng mỏng trên chất nền "phát triển".

Đối với hoạt động bình thường của thiết bị MBE, nitơ lỏng có độ tinh khiết cao, áp suất thấp và siêu sạch cần được vận chuyển liên tục và ổn định đến buồng làm mát của thiết bị. Nhìn chung, một bể cung cấp nitơ lỏng có áp suất đầu ra từ 0,3MPa đến 0,8MPa. Nitơ lỏng ở -196℃ dễ dàng bị bay hơi thành nitơ trong quá trình vận chuyển bằng đường ống. Khi nitơ lỏng có tỷ lệ khí-lỏng khoảng 1:700 được khí hóa trong đường ống, nó sẽ chiếm một lượng lớn không gian dòng chảy của nitơ lỏng và làm giảm lưu lượng bình thường ở cuối đường ống nitơ lỏng. Ngoài ra, trong bể chứa nitơ lỏng, có khả năng có các mảnh vụn chưa được làm sạch. Trong đường ống nitơ lỏng, sự tồn tại của không khí ẩm cũng sẽ dẫn đến sự hình thành xỉ băng. Nếu những tạp chất này được thải vào thiết bị, nó sẽ gây ra thiệt hại không thể lường trước cho thiết bị.

Do đó, nitơ lỏng trong bồn chứa ngoài trời được vận chuyển đến thiết bị MBE trong xưởng không bụi với hiệu suất cao, ổn định và sạch sẽ, áp suất thấp, không có nitơ, không có tạp chất, 24 giờ không bị gián đoạn, hệ thống kiểm soát vận chuyển như vậy là một sản phẩm đạt tiêu chuẩn.

Thiết bị MBE phù hợp

Từ năm 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) đã tối ưu hóa và cải tiến hệ thống này và hợp tác với các nhà sản xuất thiết bị MBE quốc tế. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, bao gồm DCA, REBER, có quan hệ hợp tác với công ty chúng tôi. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, bao gồm DCA và REBER, đã hợp tác trong một số lượng lớn các dự án.

Riber SA là nhà cung cấp hàng đầu toàn cầu về các sản phẩm epitaxy chùm phân tử (MBE) và các dịch vụ liên quan cho nghiên cứu bán dẫn hợp chất và các ứng dụng công nghiệp. Thiết bị Riber MBE có thể lắng đọng các lớp vật liệu rất mỏng trên chất nền, với khả năng kiểm soát rất cao. Thiết bị chân không của HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) được trang bị Riber SA Thiết bị lớn nhất là Riber 6000 và nhỏ nhất là Compact 21. Thiết bị này ở trong tình trạng tốt và đã được khách hàng công nhận.

DCA là MBE oxit hàng đầu thế giới. Từ năm 1993, đã tiến hành phát triển có hệ thống các kỹ thuật oxy hóa, gia nhiệt chất nền chống oxy hóa và các nguồn chống oxy hóa. Vì lý do này, nhiều phòng thí nghiệm hàng đầu đã lựa chọn công nghệ oxit DCA. Các hệ thống MBE bán dẫn composite được sử dụng trên toàn thế giới. Hệ thống tuần hoàn nitơ lỏng VJ của Thiết bị đông lạnh HL (HL CRYO) và thiết bị MBE của nhiều model DCA có kinh nghiệm phù hợp trong nhiều dự án, chẳng hạn như model P600, R450, SGC800, v.v.