Tin tức - Dự án Chip MBE hoàn thành trong những năm qua

Công nghệ

Epitaxy dầm phân tử, hay MBE, là một kỹ thuật mới để phát triển các màng mỏng chất lượng cao của tinh thể trên chất nền tinh thể. Trong điều kiện chân không cực cao, bằng bếp lò sưởi được trang bị tất cả các loại thành phần cần thiết và tạo ra hơi nước, thông qua các lỗ được hình thành sau khi va chạm chùm tia hoặc chùm phân tử, tiêm trực tiếp đến nhiệt độ tinh thể đơn, điều khiển chùm phân tử Việc quét chất nền cùng một lúc, nó có thể tạo ra các phân tử hoặc nguyên tử trong các lớp liên kết tinh thể để tạo thành một màng mỏng trên "sự tăng trưởng" của chất nền.

Đối với hoạt động bình thường của thiết bị MBE, độ tinh khiết cao, áp suất thấp và nitơ lỏng cực sạch được yêu cầu phải được vận chuyển liên tục và ổn định đến buồng làm mát của thiết bị. Nhìn chung, một bể cung cấp nitơ lỏng có áp suất đầu ra trong khoảng từ 0,3MPa đến 0,8MPa. Một khi nitơ lỏng với tỷ lệ khí-lỏng khoảng 1: 700 được khí hóa trong đường ống, nó sẽ chiếm một lượng lớn không gian lưu lượng nitơ lỏng và làm giảm dòng chảy bình thường ở cuối đường ống nitơ lỏng. Ngoài ra, trong bể chứa nitơ lỏng, có khả năng có các mảnh vụn chưa được làm sạch. Trong đường ống nitơ lỏng, sự tồn tại của không khí ướt cũng sẽ dẫn đến việc tạo ra xỉ băng. Nếu các tạp chất này được thải vào thiết bị, nó sẽ gây ra thiệt hại không thể đoán trước cho thiết bị.

Do đó, nitơ lỏng trong bể chứa ngoài trời được vận chuyển đến thiết bị MBE trong xưởng không có bụi với hiệu quả cao, độ ổn định và sạch sẽ, và áp suất thấp, không nitơ, không có tạp chất, 24 giờ không bị gián đoạn, hệ thống kiểm soát vận chuyển như vậy là một sản phẩm đủ điều kiện.

Phù hợp với thiết bị MBE

Từ năm 2005, Thiết bị Cryogen (HL Cryo) HL (HL Cryo) đã tối ưu hóa và cải thiện hệ thống này và hợp tác với các nhà sản xuất thiết bị MBE quốc tế. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, bao gồm DCA, Reber, có quan hệ hợp tác với công ty chúng tôi. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, bao gồm DCA và Reber, đã hợp tác trong một số lượng lớn các dự án.

Riber SA là nhà cung cấp hàng đầu toàn cầu về các sản phẩm Epitaxy (MBE) toàn cầu và các dịch vụ liên quan cho nghiên cứu bán dẫn hợp chất và các ứng dụng công nghiệp. Thiết bị Riber MBE có thể gửi các lớp vật liệu rất mỏng trên đế, với các điều khiển rất cao. Thiết bị chân không của thiết bị Cryogen (HL Cryo) được trang bị Riber SA, thiết bị lớn nhất là Riber 6000 và nhỏ nhất là Compact 21. Nó ở trong tình trạng tốt và đã được khách hàng công nhận.

DCA là MBE oxit hàng đầu thế giới. Từ năm 1993, sự phát triển có hệ thống của các kỹ thuật oxy hóa, sưởi ấm chất nền chống oxy hóa và các nguồn chống oxy hóa đã được thực hiện. Vì lý do này, nhiều phòng thí nghiệm hàng đầu đã chọn công nghệ Oxit DCA. Các hệ thống MBE bán dẫn tổng hợp được sử dụng trên toàn thế giới. Hệ thống lưu thông nitơ chất lỏng VJ của thiết bị Cryogen (HL Cryo) và thiết bị MBE của nhiều mô hình DCA có trải nghiệm phù hợp trong nhiều dự án, chẳng hạn như Model P600, R450, SGC800, v.v.