Công nghệ
Epitaxy chùm phân tử, hay MBE, là một kỹ thuật mới để tạo màng mỏng tinh thể chất lượng cao trên nền tinh thể. Trong điều kiện chân không cực cao, lò nung được trang bị đầy đủ các thành phần cần thiết và tạo ra hơi nước, thông qua các lỗ được tạo thành sau khi chùm tia chuẩn trực nguyên tử hoặc phân tử được định hướng, tiêm trực tiếp đến nhiệt độ thích hợp của nền tinh thể đơn, đồng thời kiểm soát chùm tia phân tử quét nền, có thể làm cho các phân tử hoặc nguyên tử trong các lớp tinh thể liên kết với nhau tạo thành một màng mỏng trên nền.
Để thiết bị MBE hoạt động bình thường, cần phải vận chuyển liên tục và ổn định nitơ lỏng có độ tinh khiết cao, áp suất thấp và siêu sạch đến buồng làm mát của thiết bị. Nhìn chung, một bình cung cấp nitơ lỏng có áp suất đầu ra từ 0,3MPa đến 0,8MPa. Nitơ lỏng ở -196℃ dễ dàng bị hóa hơi thành nitơ trong quá trình vận chuyển bằng đường ống. Khi nitơ lỏng có tỷ lệ khí-lỏng khoảng 1:700 được khí hóa trong đường ống, nó sẽ chiếm một lượng lớn không gian dòng chảy của nitơ lỏng và làm giảm lưu lượng bình thường ở cuối đường ống nitơ lỏng. Ngoài ra, trong bể chứa nitơ lỏng, có khả năng có các mảnh vụn chưa được làm sạch. Trong đường ống nitơ lỏng, sự tồn tại của không khí ẩm cũng sẽ dẫn đến việc tạo ra xỉ băng. Nếu những tạp chất này được thải vào thiết bị, nó sẽ gây ra thiệt hại không thể lường trước cho thiết bị.
Do đó, nitơ lỏng trong bể chứa ngoài trời được vận chuyển đến thiết bị MBE trong xưởng không bụi với hiệu suất cao, ổn định và sạch sẽ, áp suất thấp, không có nitơ, không có tạp chất, 24 giờ không bị gián đoạn, hệ thống kiểm soát vận chuyển như vậy là một sản phẩm đạt tiêu chuẩn.
Thiết bị MBE phù hợp
Từ năm 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) đã tối ưu hóa và cải tiến hệ thống này, đồng thời hợp tác với các nhà sản xuất thiết bị MBE quốc tế. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, bao gồm DCA và REBER, đã có mối quan hệ hợp tác với công ty chúng tôi. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, bao gồm DCA và REBER, đã hợp tác trong rất nhiều dự án.
Riber SA là nhà cung cấp hàng đầu thế giới về các sản phẩm epitaxy chùm phân tử (MBE) và các dịch vụ liên quan cho nghiên cứu bán dẫn hợp chất và các ứng dụng công nghiệp. Thiết bị Riber MBE có thể lắng đọng các lớp vật liệu rất mỏng trên đế, với khả năng kiểm soát rất cao. Thiết bị chân không của HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) được trang bị Riber SA. Thiết bị lớn nhất là Riber 6000 và thiết bị nhỏ nhất là Compact 21. Thiết bị này còn trong tình trạng tốt và đã được khách hàng công nhận.
DCA là công nghệ MBE oxit hàng đầu thế giới. Từ năm 1993, chúng tôi đã phát triển một cách có hệ thống các kỹ thuật oxy hóa, gia nhiệt chất nền chống oxy hóa và nguồn chống oxy hóa. Vì lý do này, nhiều phòng thí nghiệm hàng đầu đã lựa chọn công nghệ oxit DCA. Hệ thống MBE bán dẫn composite được sử dụng trên toàn thế giới. Hệ thống tuần hoàn nitơ lỏng VJ của HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) và thiết bị MBE của nhiều model DCA có kinh nghiệm tương đương trong nhiều dự án, chẳng hạn như model P600, R450, SGC800, v.v.
Bảng hiệu suất
| Viện Vật lý Kỹ thuật Thượng Hải, Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc |
| Viện Công nghệ Điện tử Trung Quốc số 11 |
| Viện Bán dẫn, Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc |
| Huawei |
| Học viện Alibaba DAMO |
| Công ty TNHH Công nghệ Powertech |
| Công ty Điện tử Delta |
| Tô Châu Everbright Photonics |
Thời gian đăng: 26-05-2021
