Tin tức - Dự án Chip MBE đã hoàn thành trong những năm qua

Công nghệ

Epitaxy chùm phân tử, hay MBE, là một kỹ thuật mới để nuôi các màng tinh thể mỏng chất lượng cao trên nền tinh thể. Trong điều kiện chân không cực cao, do bếp gia nhiệt được trang bị đầy đủ các loại linh kiện cần thiết và tạo ra hơi nước, thông qua các lỗ hình thành sau khi chùm tia nguyên tử hoặc phân tử chuẩn trực, phun trực tiếp đến nhiệt độ thích hợp của đế đơn tinh thể, điều khiển chùm tia phân tử để Khi quét chất nền cùng một lúc, nó có thể làm cho các phân tử hoặc nguyên tử trong các lớp liên kết tinh thể tạo thành một lớp màng mỏng trên chất nền "tăng trưởng".

Để thiết bị MBE hoạt động bình thường, nitơ lỏng có độ tinh khiết cao, áp suất thấp và siêu sạch cần phải được vận chuyển liên tục và ổn định đến buồng làm mát của thiết bị. Nhìn chung, bể cung cấp nitơ lỏng có áp suất đầu ra trong khoảng 0,3MPa đến 0,8MPa. Nitơ lỏng ở -196oC dễ dàng hóa hơi thành nitơ trong quá trình vận chuyển đường ống. Khi nitơ lỏng có tỷ lệ khí-lỏng khoảng 1:700 được khí hóa trong đường ống, nó sẽ chiếm một lượng lớn không gian dòng nitơ lỏng và làm giảm dòng chảy bình thường ở cuối đường ống nitơ lỏng. Ngoài ra, trong bể chứa nitơ lỏng rất có thể còn cặn bẩn chưa được làm sạch. Trong đường ống nitơ lỏng, sự tồn tại của không khí ẩm cũng sẽ dẫn đến việc tạo ra xỉ băng. Nếu các tạp chất này thải vào thiết bị sẽ gây ra những hư hỏng khó lường cho thiết bị.

Do đó, nitơ lỏng trong bể chứa ngoài trời được vận chuyển đến thiết bị MBE trong xưởng không bụi với hiệu suất cao, ổn định và sạch sẽ, áp suất thấp, không chứa nitơ, không tạp chất, hoạt động liên tục 24 giờ, hệ thống kiểm soát vận chuyển như vậy là một sản phẩm đủ tiêu chuẩn.

Phù hợp với thiết bị MBE

Từ năm 2005, Thiết bị đông lạnh HL (HL CRYO) đã tối ưu hóa và cải tiến hệ thống này và hợp tác với các nhà sản xuất thiết bị MBE quốc tế. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, bao gồm DCA, REBER, đều có quan hệ hợp tác với công ty chúng tôi. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, trong đó có DCA và REBER, đã hợp tác trong nhiều dự án.

Riber SA là nhà cung cấp hàng đầu thế giới về các sản phẩm epit Wax chùm phân tử (MBE) và các dịch vụ liên quan cho nghiên cứu chất bán dẫn hỗn hợp và ứng dụng công nghiệp. Thiết bị Riber MBE có thể lắng đọng các lớp vật liệu rất mỏng trên bề mặt với khả năng kiểm soát rất cao. Thiết bị chân không của HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) được trang bị Riber SA. Thiết bị lớn nhất là Riber 6000 và nhỏ nhất là Compact 21. Đang trong tình trạng tốt và đã được khách hàng công nhận.

DCA là MBE oxit hàng đầu thế giới. Từ năm 1993, việc phát triển có hệ thống các kỹ thuật oxy hóa, gia nhiệt chất chống oxy hóa và các nguồn chống oxy hóa đã được thực hiện. Vì lý do này, nhiều phòng thí nghiệm hàng đầu đã chọn công nghệ oxit DCA. Hệ thống MBE bán dẫn tổng hợp được sử dụng trên toàn thế giới. Hệ thống tuần hoàn nitơ lỏng VJ của Thiết bị đông lạnh HL (HL CRYO) và thiết bị MBE của nhiều mẫu DCA có kinh nghiệm phù hợp trong nhiều dự án, chẳng hạn như mẫu P600, R450, SGC800, v.v.