Công nghệ
Kỹ thuật epitaxy chùm phân tử, hay MBE, là một kỹ thuật mới để nuôi cấy các màng mỏng tinh thể chất lượng cao trên chất nền tinh thể. Trong điều kiện chân không cực cao, bằng cách sử dụng lò nung được trang bị đầy đủ các thành phần cần thiết và tạo ra hơi nước, thông qua các lỗ được tạo ra sau khi chuẩn trực chùm nguyên tử hoặc phân tử, bơm trực tiếp vào chất nền tinh thể đơn ở nhiệt độ thích hợp, đồng thời điều khiển quá trình quét chùm phân tử trên chất nền, có thể làm cho các phân tử hoặc nguyên tử sắp xếp thành các lớp tinh thể để tạo thành một màng mỏng trên chất nền "phát triển".
Để thiết bị MBE hoạt động bình thường, cần phải vận chuyển liên tục và ổn định nitơ lỏng có độ tinh khiết cao, áp suất thấp và siêu sạch đến buồng làm mát của thiết bị. Thông thường, bình chứa nitơ lỏng có áp suất đầu ra từ 0,3MPa đến 0,8MPa. Nitơ lỏng ở -196℃ dễ bị hóa hơi thành nitơ trong quá trình vận chuyển qua đường ống. Khi nitơ lỏng với tỷ lệ khí-lỏng khoảng 1:700 bị hóa hơi trong đường ống, nó sẽ chiếm một lượng lớn không gian dòng chảy của nitơ lỏng và làm giảm lưu lượng bình thường ở cuối đường ống nitơ lỏng. Ngoài ra, trong bể chứa nitơ lỏng có thể có các chất cặn bẩn chưa được làm sạch. Trong đường ống nitơ lỏng, sự tồn tại của không khí ẩm cũng sẽ dẫn đến sự hình thành xỉ băng. Nếu những tạp chất này thải vào thiết bị, nó sẽ gây ra hư hỏng khó lường cho thiết bị.
Do đó, nitơ lỏng trong bể chứa ngoài trời được vận chuyển đến thiết bị MBE trong xưởng không bụi với hiệu suất cao, ổn định và sạch sẽ, áp suất thấp, không có nitơ, không tạp chất, liên tục 24 giờ, hệ thống điều khiển vận chuyển như vậy là một sản phẩm đạt tiêu chuẩn.
Thiết bị MBE phù hợp
Từ năm 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) đã tối ưu hóa và cải tiến hệ thống này, đồng thời hợp tác với các nhà sản xuất thiết bị MBE quốc tế. Các nhà sản xuất thiết bị MBE, bao gồm DCA và REBER, đều có quan hệ hợp tác với công ty chúng tôi. Họ đã hợp tác trong rất nhiều dự án.
Riber SA là nhà cung cấp hàng đầu thế giới về các sản phẩm và dịch vụ liên quan đến phương pháp lắng đọng màng mỏng phân tử (MBE) cho nghiên cứu chất bán dẫn phức hợp và các ứng dụng công nghiệp. Thiết bị MBE của Riber có thể lắng đọng các lớp vật liệu rất mỏng trên chất nền với độ chính xác rất cao. Thiết bị chân không của HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) được trang bị thiết bị của Riber SA. Thiết bị lớn nhất là Riber 6000 và nhỏ nhất là Compact 21. Thiết bị này đang trong tình trạng tốt và được khách hàng đánh giá cao.
DCA là nhà sản xuất hàng đầu thế giới về công nghệ MBE oxit. Từ năm 1993, công ty đã tiến hành phát triển có hệ thống các kỹ thuật oxy hóa, gia nhiệt chất nền chống oxy hóa và nguồn chất chống oxy hóa. Vì lý do này, nhiều phòng thí nghiệm hàng đầu đã lựa chọn công nghệ oxit của DCA. Hệ thống MBE bán dẫn composite được sử dụng rộng rãi trên toàn thế giới. Hệ thống tuần hoàn nitơ lỏng VJ của HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) và thiết bị MBE của nhiều dòng sản phẩm DCA đã được chứng minh hiệu quả trong nhiều dự án, ví dụ như các dòng P600, R450, SGC800, v.v.
Bảng thành tích
| Viện Vật lý Kỹ thuật Thượng Hải, Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc |
| Viện số 11 thuộc Tập đoàn Công nghệ Điện tử Trung Quốc |
| Viện Bán dẫn, Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc |
| Huawei |
| Học viện Alibaba DAMO |
| Công ty TNHH Công nghệ Powertech |
| Công ty TNHH Điện tử Delta |
| Công ty Quang tử Everbright Tô Châu |
Thời gian đăng bài: 26 tháng 5 năm 2021