Epitaxy dầm phân tử (MBE) là một kỹ thuật rất chính xác được sử dụng để chế tạo các màng mỏng và cấu trúc nano cho các ứng dụng khác nhau, bao gồm các thiết bị bán dẫn, quang điện tử và điện toán lượng tử. Một trong những thách thức chính trong các hệ thống MBE là duy trì nhiệt độ cực thấp, đó là nơiống chân khôngS (VJP) đi vào chơi. Những đường ống tiên tiến này rất cần thiết để đảm bảo kiểm soát nhiệt trong các buồng MBE, khiến chúng trở thành một thành phần không thể thiếu trong việc đạt được sự tăng trưởng chất lượng cao của vật liệu ở cấp độ nguyên tử.

Epitaxy chùm phân tử (MBE) là gì?

MBE là một kỹ thuật lắng đọng liên quan đến sự lắng đọng có kiểm soát của các chùm nguyên tử hoặc phân tử lên chất nền trong môi trường có độ cao cao. Quá trình yêu cầu kiểm soát nhiệt độ chính xác để đạt được các tính chất vật liệu mong muốn, điều này làm cho quản lý nhiệt trở thành một yếu tố quan trọng. Trong các hệ thống MBE,Ống áo khoácđược sử dụng để mang chất lỏng và khí lạnh, đảm bảo rằng chất nền vẫn ở nhiệt độ phù hợp trong quá trình lắng đọng.