Các hệ thống làm mát nitơ lỏng được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn & chip, bao gồm cả quá trình,
- Công nghệ của Epitaxy chùm phân tử (MBE)
- Bài kiểm tra của chip sau gói Cob
Sản phẩm liên quan
Chuỗi ống cách nhiệt chân không
Chuỗi ống linh hoạt cách nhiệt chân không
Hệ thống bơm chân không động
Chuỗi phân tách pha cách nhiệt chân không
Loạt van cách nhiệt chân không
Thiết bị hỗ trợ hệ thống đường ống
Epitaxy chùm phân tử
Công nghệ của epitaxy chùm phân tử (MBE) đã được phát triển vào những năm 1950 để chuẩn bị vật liệu màng mỏng bán dẫn bằng công nghệ bay hơi chân không. Với sự phát triển của công nghệ chân không cực cao, việc áp dụng công nghệ đã được mở rộng cho lĩnh vực khoa học bán dẫn.
HL đã nhận thấy nhu cầu của hệ thống làm mát nitơ lỏng MBE, xương sống kỹ thuật được tổ chức để phát triển thành công một hệ thống phân tích nitơ lỏng MBE đặc biệt cho công nghệ MBE và một bộ hệ thống đường ống cách nhiệt hoàn chỉnh, đã được sử dụng trong nhiều doanh nghiệp, trường đại học và Viện nghiên cứu .
Các vấn đề phổ biến của ngành công nghiệp bán dẫn và chip bao gồm,
- Áp suất của nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối (MBE). Ngăn chặn quá tải áp lực từ thiết bị thiết bị đầu cuối gây hại (MBE).
- Bộ điều khiển đầu vào và đầu ra chất lỏng nhiều chất lạnh
- Nhiệt độ của nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối
- Một lượng khí thải khí lạnh hợp lý
- (Tự động) Chuyển đổi các đường chính và nhánh
- Điều chỉnh áp suất (giảm) và sự ổn định của VIP
- Làm sạch các tạp chất có thể và dư lượng băng từ bể
- Làm đầy thời gian của thiết bị chất lỏng đầu cuối
- Pipeline Precooling
- Điện trở chất lỏng trong hệ thống VIP
- Kiểm soát mất nitơ lỏng trong quá trình phục vụ không liên tục của hệ thống
Đường ống cách nhiệt chân không của HL (VIP) được chế tạo theo mã đường ống áp suất ASME B31.3 như một tiêu chuẩn. Kinh nghiệm kỹ thuật và khả năng kiểm soát chất lượng để đảm bảo hiệu quả và hiệu quả chi phí của nhà máy của khách hàng.
Giải pháp
Thiết bị tạo lạnh HL cung cấp cho khách hàng hệ thống đường ống cách nhiệt chân không để đáp ứng các yêu cầu và điều kiện của ngành công nghiệp bán dẫn & chip:
1. Hệ thống quản lý chất lượng: ASME B31.3 Mã đường ống áp lực.
2.a phân tách pha đặc biệt với đầu vào và đầu ra chất lỏng nhiều chất lạnh với chức năng điều khiển tự động đáp ứng yêu cầu phát xạ khí, nitơ lỏng tái chế và nhiệt độ của nitơ lỏng.
3. Thiết kế ống xả đầy đủ và kịp thời đảm bảo rằng thiết bị thiết bị đầu cuối luôn hoạt động trong giá trị áp suất được thiết kế.
4. Hàng rào khí lỏng được đặt trong ống VI thẳng đứng ở cuối đường ống VI. Hàng rào khí-lỏng sử dụng nguyên tắc dấu khí để chặn nhiệt từ cuối đường ống VI vào đường ống VI và giảm hiệu quả sự mất nitơ lỏng trong quá trình dịch vụ không liên tục và không liên tục của hệ thống.
5.VI Đường ống được điều khiển bởi chuỗi van cách điện chân không (VIV) yêu cầu. VIV được tích hợp với tiền chế VIP trong nhà sản xuất, mà không cần xử lý cách nhiệt tại chỗ. Đơn vị dấu của VIV có thể được thay thế dễ dàng. .
6. Tính toán, nếu có các yêu cầu bổ sung cho độ sạch bề mặt ống bên trong. Có ý kiến cho rằng khách hàng chọn ống thép không gỉ BA hoặc EP làm ống bên trong VIP để giảm thêm sự cố tràn thép không gỉ.
7. Bộ lọc cách nhiệt Vacuum: Làm sạch các tạp chất và dư lượng băng có thể có từ bể.
8. Sau một vài ngày hoặc đóng cửa hoặc bảo trì lâu hơn, rất cần thiết phải đi bộ sẵn cho các thiết bị đường ống VI và chất lỏng gây lạnh, để tránh xỉ đá sau khi chất lỏng đông lạnh trực tiếp đi vào thiết bị ống VI và thiết bị đầu cuối. Chức năng tiền sản nên được xem xét trong thiết kế. Nó cung cấp bảo vệ tốt hơn cho thiết bị thiết bị đầu cuối và thiết bị hỗ trợ đường ống VI như van.
9.Suit cho cả hệ thống đường ống cách nhiệt (linh hoạt) của cả hai chân không động và tĩnh.
10. Hệ thống đường ống cách nhiệt (linh hoạt) chân không (linh hoạt): bao gồm các ống linh hoạt VI và/hoặc ống VI, ống nhảy, hệ thống van cách điện chân không, thiết bị tách pha và hệ thống bơm chân không động (bao gồm bơm chân không, van điện từ và đồng hồ đo máy hút bụi, v.v. ). Độ dài của ống linh hoạt VI đơn có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của người dùng.
11. Các loại kết nối various: Có thể chọn loại kết nối lưỡi lê (VBC) và kết nối hàn. Loại VBC không cần điều trị cách nhiệt tại chỗ.
