Hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn & chip, bao gồm quy trình,
- Công nghệ Epit Wax chùm phân tử (MBE)
- Kiểm tra chip sau gói COB
Sản phẩm liên quan
Dòng ống cách nhiệt chân không
Dòng ống linh hoạt cách nhiệt chân không
Hệ thống bơm chân không động
Dòng máy tách pha cách điện chân không
Dòng van cách nhiệt chân không
Thiết bị hỗ trợ hệ thống đường ống
EPITAXY CHÙM PHÂN TỬ
Công nghệ Epit Wax chùm phân tử (MBE) được phát triển vào những năm 1950 để chế tạo vật liệu màng mỏng bán dẫn sử dụng công nghệ bay hơi chân không. Với sự phát triển của công nghệ chân không siêu cao, việc ứng dụng công nghệ đã được mở rộng sang lĩnh vực khoa học bán dẫn.
HL nhận thấy nhu cầu về hệ thống làm mát nitơ lỏng MBE, xương sống kỹ thuật được tổ chức để phát triển thành công hệ thống làm mát nitơ lỏng MBE đặc biệt cho công nghệ MBE và một bộ hệ thống đường ống cách nhiệt chân không hoàn chỉnh, đã được sử dụng ở nhiều doanh nghiệp, trường đại học và viện nghiên cứu .
Các vấn đề chung của ngành bán dẫn & chip bao gồm,
- Áp suất của nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối (MBE). Ngăn chặn tình trạng quá tải áp suất do thiết bị đầu cuối bị hư hỏng (MBE).
- Nhiều bộ điều khiển đầu vào và đầu ra chất lỏng đông lạnh
- Nhiệt độ của nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối
- Một lượng khí thải đông lạnh hợp lý
- (Tự động) Chuyển mạch chính và nhánh
- Điều chỉnh áp suất (Giảm) và độ ổn định của VIP
- Làm sạch các tạp chất và cặn băng có thể có trong bể
- Thời gian làm đầy của thiết bị chất lỏng đầu cuối
- Làm mát sơ bộ đường ống
- Kháng chất lỏng trong hệ thống VIP
- Kiểm soát thất thoát nitơ lỏng trong quá trình bảo trì hệ thống không liên tục
Ống cách nhiệt chân không (VIP) của HL được xây dựng theo tiêu chuẩn Đường ống áp lực ASME B31.3. Kinh nghiệm kỹ thuật và khả năng kiểm soát chất lượng để đảm bảo hiệu quả và tiết kiệm chi phí cho nhà máy của khách hàng.
GIẢI PHÁP
Thiết bị đông lạnh HL cung cấp cho khách hàng Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không đáp ứng các yêu cầu và điều kiện của ngành bán dẫn & chip:
1. Hệ thống quản lý chất lượng: Mã đường ống áp lực ASME B31.3.
2.Một bộ tách pha đặc biệt với nhiều đầu vào và đầu ra chất lỏng đông lạnh có chức năng điều khiển tự động đáp ứng yêu cầu về khí thải, nitơ lỏng tái chế và nhiệt độ của nitơ lỏng.
3. Thiết kế ống xả đầy đủ và kịp thời đảm bảo rằng thiết bị đầu cuối luôn hoạt động trong giá trị áp suất thiết kế.
4. Rào chắn khí-lỏng được đặt trong ống VI thẳng đứng ở cuối đường ống VI. Rào chắn khí-lỏng sử dụng nguyên lý kín khí để chặn nhiệt từ cuối đường ống VI vào Đường ống VI và giảm thất thoát nitơ lỏng một cách hiệu quả trong quá trình vận hành hệ thống không liên tục và không liên tục.
5.VI Đường ống được điều khiển bằng dòng Van cách nhiệt chân không (VIV): Bao gồm Van ngắt cách điện chân không (khí nén), Van kiểm tra cách điện chân không, Van điều chỉnh cách điện chân không, v.v. Nhiều loại VIV khác nhau có thể được kết hợp theo mô-đun để điều khiển VIP như yêu cầu. VIV được tích hợp chế tạo sẵn VIP tại nhà sản xuất mà không cần xử lý cách nhiệt tại chỗ. Bộ phận làm kín của VIV có thể được thay thế dễ dàng. (HL chấp nhận nhãn hiệu van đông lạnh do khách hàng chỉ định, sau đó sản xuất van cách nhiệt chân không bởi HL. Một số nhãn hiệu và kiểu van có thể không được chế tạo thành van cách nhiệt chân không.)
6. Độ sạch, nếu có yêu cầu bổ sung về độ sạch của bề mặt ống bên trong. Chúng tôi đề nghị khách hàng chọn ống thép không gỉ BA hoặc EP làm ống bên trong VIP để giảm thiểu rò rỉ thép không gỉ hơn nữa.
7. Bộ lọc cách nhiệt chân không: Làm sạch các tạp chất và cặn đá có thể có trong bể.
8.Sau một vài ngày hoặc lâu hơn khi ngừng hoạt động hoặc bảo trì, cần phải làm lạnh sơ bộ Đường ống VI và thiết bị đầu cuối trước khi đưa chất lỏng đông lạnh vào, để tránh xỉ băng sau khi chất lỏng đông lạnh trực tiếp đi vào Đường ống VI và thiết bị đầu cuối. Chức năng làm mát sơ bộ nên được xem xét trong thiết kế. Nó cung cấp khả năng bảo vệ tốt hơn cho thiết bị đầu cuối và thiết bị hỗ trợ Đường ống VI như van.
9.Suit cho cả hệ thống đường ống cách nhiệt chân không (linh hoạt) động và tĩnh.
10. Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không (linh hoạt) động: Bao gồm Ống mềm VI và/hoặc Ống VI, Ống nhảy, Hệ thống van cách nhiệt chân không, Bộ tách pha và Hệ thống bơm chân không động (bao gồm máy bơm chân không, van điện từ và đồng hồ đo chân không, v.v. ). Chiều dài của Ống linh hoạt VI đơn có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của người dùng.
11. Các loại kết nối khác nhau: Có thể chọn loại kết nối lưỡi lê chân không (VBC) và kết nối hàn. Loại VBC không cần xử lý cách nhiệt tại chỗ.
