Hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn và chip, bao gồm quy trình,
- Công nghệ Epitaxy chùm phân tử (MBE)
- Kiểm tra chip sau khi đóng gói COB
Sản phẩm liên quan
Dòng ống cách nhiệt chân không
Dòng ống mềm cách nhiệt chân không
Hệ thống bơm chân không động
Dòng máy tách pha cách điện chân không
Dòng van cách nhiệt chân không
Thiết bị hỗ trợ hệ thống đường ống
EPITAXY CHÙM PHÂN TỬ
Công nghệ Epitaxy chùm phân tử (MBE) được phát triển vào những năm 1950 để chế tạo vật liệu màng mỏng bán dẫn bằng công nghệ bốc hơi chân không. Với sự phát triển của công nghệ chân không siêu cao, ứng dụng của công nghệ này đã được mở rộng sang lĩnh vực khoa học bán dẫn.
HL đã nhận thấy nhu cầu về hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng MBE, tổ chức nền tảng kỹ thuật để phát triển thành công hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng MBE chuyên dụng cho công nghệ MBE và một bộ hệ thống đường ống cách nhiệt chân không hoàn chỉnh, đã được sử dụng trong nhiều doanh nghiệp, trường đại học và viện nghiên cứu.
Các vấn đề chung của ngành công nghiệp bán dẫn và chip bao gồm:
- Áp suất Nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối (MBE). Ngăn ngừa quá tải áp suất gây hư hỏng thiết bị đầu cuối (MBE).
- Nhiều bộ điều khiển đầu vào và đầu ra chất lỏng đông lạnh
- Nhiệt độ của Nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối
- Một lượng khí thải lạnh hợp lý
- (Tự động) Chuyển mạch đường dây chính và đường dây nhánh
- Điều chỉnh áp suất (Giảm) và độ ổn định của VIP
- Làm sạch các tạp chất và cặn đá có thể có trong bể chứa
- Thời gian nạp đầy thiết bị đầu cuối chất lỏng
- Làm mát đường ống
- Khả năng chống chất lỏng trong hệ thống VIP
- Kiểm soát sự mất mát nitơ lỏng trong quá trình bảo dưỡng hệ thống không liên tục
Ống cách nhiệt chân không (VIP) của HL được sản xuất theo tiêu chuẩn ASME B31.3 về Đường ống áp lực. Kinh nghiệm kỹ thuật và khả năng kiểm soát chất lượng đảm bảo hiệu quả và tiết kiệm chi phí cho nhà máy của khách hàng.
GIẢI PHÁP
HL Cryogenic Equipment cung cấp cho khách hàng Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không để đáp ứng các yêu cầu và điều kiện của ngành công nghiệp bán dẫn và chip:
1. Hệ thống quản lý chất lượng: Tiêu chuẩn đường ống áp suất ASME B31.3.
2. Bộ tách pha đặc biệt với nhiều đầu vào và đầu ra chất lỏng lạnh có chức năng điều khiển tự động đáp ứng yêu cầu về khí thải, nitơ lỏng tái chế và nhiệt độ của nitơ lỏng.
3. Thiết kế xả khí kịp thời và đầy đủ đảm bảo thiết bị đầu cuối luôn hoạt động trong phạm vi giá trị áp suất được thiết kế.
4. Rào chắn khí-lỏng được đặt trong ống dẫn thẳng đứng VI ở cuối đường ống VI. Rào chắn khí-lỏng sử dụng nguyên lý bịt kín khí để ngăn nhiệt từ cuối đường ống VI vào đường ống VI, đồng thời giảm thiểu hiệu quả thất thoát nitơ lỏng trong quá trình vận hành hệ thống không liên tục và gián đoạn.
5. Đường ống VI được điều khiển bởi dòng van cách nhiệt chân không (VIV): Bao gồm van đóng ngắt cách nhiệt chân không (khí nén), van kiểm tra cách nhiệt chân không, van điều chỉnh cách nhiệt chân không, v.v. Nhiều loại VIV có thể được kết hợp theo mô-đun để điều khiển VIP theo yêu cầu. VIV được tích hợp với VIP chế tạo sẵn tại nhà máy, không cần xử lý cách nhiệt tại chỗ. Bộ phận làm kín của VIV có thể dễ dàng thay thế. (HL chấp nhận nhãn hiệu van đông lạnh do khách hàng chỉ định, sau đó sản xuất van cách nhiệt chân không tại HL. Một số nhãn hiệu và model van có thể không thể sản xuất thành van cách nhiệt chân không.)
6. Độ sạch sẽ, nếu có yêu cầu bổ sung về độ sạch bề mặt ống trong. Khách hàng nên chọn ống thép không gỉ BA hoặc EP làm ống trong VIP để giảm thiểu tối đa lượng thép không gỉ bị tràn ra ngoài.
7. Bộ lọc cách nhiệt chân không: Làm sạch các tạp chất và cặn đá có thể có trong bình chứa.
8. Sau vài ngày hoặc lâu hơn khi ngừng hoạt động hoặc bảo trì, việc làm mát sơ bộ đường ống VI và thiết bị đầu cuối trước khi chất lỏng đông lạnh được đưa vào là rất cần thiết, để tránh hiện tượng đóng băng sau khi chất lỏng đông lạnh trực tiếp đi vào đường ống VI và thiết bị đầu cuối. Chức năng làm mát sơ bộ nên được xem xét trong thiết kế. Nó bảo vệ tốt hơn cho thiết bị đầu cuối và các thiết bị hỗ trợ đường ống VI như van.
9. Phù hợp với cả hệ thống đường ống cách nhiệt chân không động và tĩnh (linh hoạt).
10. Hệ thống đường ống cách điện chân không động (linh hoạt): Bao gồm ống mềm VI và/hoặc ống VI, ống nối, hệ thống van cách điện chân không, bộ tách pha và hệ thống bơm chân không động (bao gồm bơm chân không, van điện từ và đồng hồ đo chân không, v.v.). Chiều dài của ống mềm VI đơn có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của người dùng.
11. Nhiều loại kết nối: Có thể lựa chọn loại kết nối chân không (VBC) và kết nối hàn. Loại VBC không cần xử lý cách điện tại chỗ.
