Hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn và chip, bao gồm cả các quy trình,
- Công nghệ epitaxy chùm phân tử (MBE)
- Kiểm tra chip sau khi đóng gói COB
Sản phẩm liên quan
Dòng ống cách nhiệt chân không
Dòng ống mềm cách nhiệt chân không
Hệ thống bơm chân không động
Dòng sản phẩm bộ tách pha cách nhiệt chân không
Dòng van cách nhiệt chân không
Thiết bị hỗ trợ hệ thống đường ống
EPITAXY CHÙM PHÂN TỬ
Công nghệ lắng đọng màng mỏng bằng chùm phân tử (MBE) được phát triển vào những năm 1950 để chế tạo vật liệu màng mỏng bán dẫn bằng công nghệ bay hơi chân không. Với sự phát triển của công nghệ chân không siêu cao, ứng dụng của công nghệ này đã được mở rộng sang lĩnh vực khoa học bán dẫn.
HL đã nhận thấy nhu cầu về hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng MBE, đã tổ chức đội ngũ kỹ thuật nòng cốt để phát triển thành công hệ thống làm mát bằng nitơ lỏng MBE chuyên dụng và một bộ hệ thống đường ống cách nhiệt chân không hoàn chỉnh, hiện đang được sử dụng tại nhiều doanh nghiệp, trường đại học và viện nghiên cứu.
Các vấn đề thường gặp trong ngành công nghiệp bán dẫn và chip bao gồm:
- Áp suất của nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối (MBE). Ngăn ngừa tình trạng quá áp gây hư hỏng thiết bị đầu cuối (MBE).
- Điều khiển nhiều đầu vào và đầu ra chất lỏng đông lạnh
- Nhiệt độ của nitơ lỏng vào thiết bị đầu cuối
- Lượng khí thải đông lạnh ở mức hợp lý
- (Tự động) Chuyển mạch giữa đường dây chính và đường dây nhánh
- Điều chỉnh áp suất (giảm) và độ ổn định của VIP
- Làm sạch các tạp chất và cặn đá có thể có trong bể chứa.
- Thời gian nạp đầy thiết bị chất lỏng đầu cuối
- Làm mát sơ bộ đường ống
- Khả năng chống chất lỏng trong hệ thống VIP
- Kiểm soát sự thất thoát nitơ lỏng trong quá trình vận hành gián đoạn của hệ thống.
Ống cách nhiệt chân không (VIP) của HL được sản xuất theo tiêu chuẩn ASME B31.3 về đường ống áp lực. Kinh nghiệm kỹ thuật và khả năng kiểm soát chất lượng đảm bảo hiệu quả và tiết kiệm chi phí cho nhà máy của khách hàng.
GIẢI PHÁP
HL Cryogenic Equipment cung cấp cho khách hàng Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không đáp ứng các yêu cầu và điều kiện của ngành công nghiệp bán dẫn và chip:
1. Hệ thống quản lý chất lượng: Tiêu chuẩn ASME B31.3 về đường ống chịu áp lực.
2. Bộ tách pha đặc biệt với nhiều đầu vào và đầu ra chất lỏng đông lạnh có chức năng điều khiển tự động đáp ứng yêu cầu về phát thải khí, nitơ lỏng tái chế và nhiệt độ nitơ lỏng.
3. Thiết kế hệ thống xả khí đầy đủ và kịp thời đảm bảo thiết bị đầu cuối luôn hoạt động trong phạm vi áp suất thiết kế.
4. Bộ phận ngăn cách khí-lỏng được đặt trong ống VI thẳng đứng ở cuối đường ống VI. Bộ phận ngăn cách khí-lỏng sử dụng nguyên lý bịt kín bằng khí để ngăn nhiệt từ cuối đường ống VI truyền vào bên trong ống VI, và giảm thiểu hiệu quả sự thất thoát nitơ lỏng trong quá trình vận hành hệ thống không liên tục và gián đoạn.
5. Hệ thống đường ống VI được điều khiển bởi van cách nhiệt chân không (VIV): Bao gồm van đóng ngắt cách nhiệt chân không (khí nén), van một chiều cách nhiệt chân không, van điều chỉnh cách nhiệt chân không, v.v. Nhiều loại VIV có thể được kết hợp theo dạng mô-đun để điều khiển VIP theo yêu cầu. VIV được tích hợp với VIP được chế tạo sẵn tại nhà máy, không cần xử lý cách nhiệt tại chỗ. Bộ phận làm kín của VIV có thể được thay thế dễ dàng. (HL chấp nhận nhãn hiệu van đông lạnh do khách hàng chỉ định, sau đó HL sẽ sản xuất van cách nhiệt chân không. Một số nhãn hiệu và mẫu van có thể không sản xuất được thành van cách nhiệt chân không.)
6. Độ sạch sẽ, nếu có yêu cầu bổ sung về độ sạch bề mặt ống bên trong. Khách hàng nên chọn ống thép không gỉ BA hoặc EP làm ống bên trong VIP để giảm thiểu hơn nữa hiện tượng rò rỉ thép không gỉ.
7. Bộ lọc cách nhiệt chân không: Làm sạch các tạp chất và cặn đá có thể có trong bình chứa.
8. Sau vài ngày hoặc thời gian ngừng hoạt động hoặc bảo trì lâu hơn, việc làm lạnh sơ bộ đường ống VI và thiết bị đầu cuối trước khi đưa chất lỏng đông lạnh vào là rất cần thiết, nhằm tránh hiện tượng đóng cặn băng sau khi chất lỏng đông lạnh trực tiếp đi vào đường ống VI và thiết bị đầu cuối. Chức năng làm lạnh sơ bộ cần được xem xét trong thiết kế. Nó giúp bảo vệ tốt hơn cho thiết bị đầu cuối và các thiết bị hỗ trợ đường ống VI như van.
9. Phù hợp với cả hệ thống đường ống cách nhiệt chân không động và tĩnh (linh hoạt).
10. Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không động (linh hoạt): Bao gồm ống mềm cách nhiệt chân không (VI) và/hoặc ống VI, ống nối, hệ thống van cách nhiệt chân không, bộ tách pha và hệ thống bơm chân không động (bao gồm bơm chân không, van điện từ và đồng hồ đo chân không, v.v.). Chiều dài của từng ống mềm cách nhiệt chân không có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của người sử dụng.
11. Các kiểu kết nối khác nhau: Có thể lựa chọn kiểu kết nối lưỡi lê chân không (VBC) và kiểu kết nối hàn. Kiểu VBC không cần xử lý cách nhiệt tại chỗ.
