Tóm tắt về hệ thống ống cách nhiệt chân không trong ứng dụng đông lạnh của ngành công nghiệp chip

Việc sản xuất và thiết kế Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không để vận chuyển nitơ lỏng là trách nhiệm của nhà cung cấp. Đối với dự án này, nếu nhà cung cấp không có điều kiện để đo lường tại chỗ, bản vẽ hướng đường ống cần được cung cấp bởi nhà. Sau đó, nhà cung cấp sẽ thiết kế Hệ thống đường ống VI cho các tình huống nitơ lỏng.

Nhà cung cấp sẽ hoàn thiện thiết kế tổng thể của hệ thống đường ống bởi các nhà thiết kế có kinh nghiệm theo bản vẽ, thông số thiết bị, điều kiện địa điểm, đặc điểm của nitơ lỏng và các yếu tố khác do bên yêu cầu cung cấp.

Nội dung thiết kế bao gồm loại phụ kiện hệ thống, xác định vật liệu và thông số kỹ thuật của ống bên trong và bên ngoài, thiết kế sơ đồ cách nhiệt, sơ đồ đoạn đúc sẵn, hình thức kết nối giữa các đoạn ống, giá đỡ ống bên trong, số lượng và vị trí của van chân không, việc loại bỏ phớt khí, yêu cầu về chất lỏng lạnh của thiết bị đầu cuối, v.v. Sơ đồ này phải được nhân viên chuyên môn của bên yêu cầu xác minh trước khi sản xuất.

Nội dung thiết kế Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không rất rộng, ở đây để ứng dụng HASS và thiết bị MBE trong một số vấn đề phổ biến, một cuộc trò chuyện đơn giản.

1 2

VI Ống

Bể chứa nitơ lỏng thường dài từ thiết bị HASS Application hoặc MBE. Trong khi đường ống cách nhiệt chân không đi vào tòa nhà bên trong, cần phải tránh hợp lý theo cách bố trí phòng trong tòa nhà và vị trí của đường ống trường và ống dẫn khí. Do đó, vận chuyển nitơ lỏng đến thiết bị, ít nhất là hàng trăm mét đường ống.

Bởi vì bản thân nitơ lỏng nén chứa một lượng lớn khí, kết hợp với khoảng cách vận chuyển, ngay cả ống dẫn chân không đoạn nhiệt cũng sẽ tạo ra một lượng lớn nitơ trong quá trình vận chuyển. Nếu nitơ không được xả hoặc lượng phát thải quá thấp không đáp ứng được yêu cầu, sẽ gây ra sức cản khí và dẫn đến lưu lượng nitơ lỏng kém, dẫn đến lưu lượng giảm đáng kể.

Nếu lưu lượng không đủ, nhiệt độ trong buồng nitơ lỏng của thiết bị không thể được kiểm soát, cuối cùng có thể dẫn đến hư hỏng thiết bị hoặc chất lượng sản phẩm.

Do đó, cần phải tính toán lượng nitơ lỏng mà thiết bị đầu cuối sử dụng (ứng dụng HASS hoặc thiết bị MBE). Đồng thời, thông số kỹ thuật đường ống cũng được xác định theo chiều dài và hướng của đường ống.

Bắt đầu từ bồn chứa nitơ lỏng, nếu đường ống chính của ống/ống cách nhiệt chân không là DN50 (đường kính trong φ50 mm), ống/ống nhánh VI của nó là DN25 (đường kính trong φ25 mm) và ống giữa ống nhánh và thiết bị đầu cuối là DN15 (đường kính trong φ15 mm). Các phụ kiện khác cho hệ thống đường ống VI, bao gồm Bộ tách pha, Bộ khử khí, Van xả khí tự động, Van ngắt VI/Khí nén (Khí nén), Van điều chỉnh lưu lượng khí nén VI, Van kiểm tra VI/Khí nén, Bộ lọc VI, Van xả an toàn, Hệ thống thanh lọc và Bơm chân không, v.v.

3

Bộ tách pha đặc biệt MBE

Mỗi bộ tách pha áp suất thường đặc biệt của MBE có các chức năng sau:

1. Cảm biến mức chất lỏng và hệ thống kiểm soát mức chất lỏng tự động, được hiển thị kịp thời thông qua hộp điều khiển điện.

2. Chức năng giảm áp suất: đầu vào chất lỏng của bộ tách được trang bị hệ thống phụ trợ bộ tách, đảm bảo áp suất nitơ lỏng trong đường ống chính là 3-4 bar. Khi vào bộ tách pha, giảm áp suất đều đặn xuống ≤ 1Bar.

3. Điều chỉnh lưu lượng chất lỏng đầu vào: một hệ thống kiểm soát độ nổi được bố trí bên trong Bộ tách pha. Chức năng của nó là tự động điều chỉnh lượng chất lỏng nạp vào khi lượng nitơ lỏng tiêu thụ tăng hoặc giảm. Điều này có ưu điểm là giảm sự dao động áp suất đột ngột do lượng nitơ lỏng lớn đi vào khi van khí nén đầu vào mở và ngăn ngừa áp suất quá mức.

4. Chức năng đệm, thể tích hiệu dụng bên trong bộ tách đảm bảo lưu lượng tức thời tối đa của thiết bị.

5. Hệ thống thanh lọc: luồng không khí và hơi nước trong bộ tách trước khi nitơ lỏng đi qua, và xả nitơ lỏng trong bộ tách sau khi nitơ lỏng đi qua.

6. Chức năng tự động giảm áp suất quá mức: Thiết bị, khi ban đầu đi qua nitơ lỏng hoặc trong những trường hợp đặc biệt, dẫn đến sự gia tăng khí hóa nitơ lỏng, dẫn đến áp suất quá mức tức thời của toàn bộ hệ thống. Bộ tách pha của chúng tôi được trang bị Van giảm áp an toàn và Nhóm van giảm áp an toàn, có thể đảm bảo hiệu quả hơn tính ổn định của áp suất trong bộ tách và ngăn thiết bị MBE bị hư hỏng do áp suất quá mức.

7. Hộp điều khiển điện, hiển thị thời gian thực mức chất lỏng và giá trị áp suất, có thể thiết lập mức chất lỏng trong bộ tách và nitơ lỏng thành mối quan hệ kiểm soát lượng. Đồng thời. Trong trường hợp khẩn cấp, phanh thủ công bộ tách khí lỏng vào van điều khiển chất lỏng, để đảm bảo an toàn cho nhân viên tại công trường và thiết bị.

4

Máy khử khí đa lõi cho các ứng dụng HASS

Bể chứa nitơ lỏng ngoài trời chứa một lượng lớn nitơ vì nó được lưu trữ và vận chuyển dưới áp suất. Trong hệ thống này, khoảng cách vận chuyển đường ống dài hơn, có nhiều khuỷu tay và sức cản lớn hơn, điều này sẽ khiến nitơ lỏng bị khí hóa một phần. Ống cách nhiệt chân không là cách tốt nhất để vận chuyển nitơ lỏng hiện nay, nhưng rò rỉ nhiệt là không thể tránh khỏi, điều này cũng sẽ dẫn đến nitơ lỏng bị khí hóa một phần. Tóm lại, nitơ lỏng chứa một lượng lớn nitơ, dẫn đến việc tạo ra sức cản khí, dẫn đến dòng chảy của nitơ lỏng không trơn tru.

Thiết bị xả trên đường ống cách nhiệt chân không, nếu không có thiết bị xả hoặc lượng xả không đủ sẽ dẫn đến sức cản khí. Một khi sức cản khí hình thành, khả năng vận chuyển nitơ lỏng sẽ giảm đáng kể.

Máy khử khí đa lõi do công ty chúng tôi thiết kế độc quyền có thể đảm bảo nitơ thải ra từ đường ống nitơ lỏng chính ở mức tối đa và ngăn ngừa sự hình thành sức cản khí. Và máy khử khí đa lõi có đủ thể tích bên trong, có thể đóng vai trò là bể chứa đệm, có thể đáp ứng hiệu quả nhu cầu lưu lượng tức thời tối đa của đường ống dung dịch.

Cấu trúc đa lõi độc quyền được cấp bằng sáng chế, khả năng xả hiệu quả hơn các loại máy tách khác của chúng tôi.

5
Tiếp tục bài viết trước, có một số vấn đề cần cân nhắc khi thiết kế giải pháp cho Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không cho các ứng dụng nhiệt độ cực thấp trong ngành công nghiệp chip.

1

Hai loại hệ thống đường ống cách nhiệt chân không

Có hai loại Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không: Hệ thống VI tĩnh và Hệ thống bơm chân không động.

Hệ thống tĩnh VI có nghĩa là sau khi mỗi ống được sản xuất tại nhà máy, chúng được hút chân không đến độ chân không quy định trên bộ phận bơm và được niêm phong. Trong quá trình lắp đặt tại hiện trường và đưa vào sử dụng, không cần phải hút chân không trở lại công trường trong một khoảng thời gian nhất định.

Ưu điểm của Hệ thống Static VI là chi phí bảo trì thấp. Sau khi hệ thống đường ống đi vào hoạt động, cần bảo trì sau vài năm. Hệ thống chân không này phù hợp với các hệ thống không yêu cầu yêu cầu làm mát cao và không gian mở để bảo trì tại chỗ.

Nhược điểm của Hệ thống VI tĩnh là chân không giảm dần theo thời gian. Bởi vì tất cả các vật liệu đều giải phóng khí vết mọi lúc, điều này được xác định bởi các tính chất vật lý của vật liệu. Vật liệu trong vỏ bọc của Ống VI có thể làm giảm lượng khí thải ra trong quá trình này, nhưng không thể cô lập hoàn toàn. Điều này sẽ dẫn đến chân không của môi trường chân không kín sẽ ngày càng thấp hơn, ống cách nhiệt chân không sẽ dần dần làm suy yếu khả năng làm mát.

Hệ thống bơm chân không động có nghĩa là sau khi ống được tạo hình và định hình, ống vẫn được hút chân không tại nhà máy theo quy trình phát hiện rò rỉ, nhưng chân không không được niêm phong trước khi giao hàng. Sau khi lắp đặt tại hiện trường hoàn tất, các lớp xen kẽ chân không của tất cả các ống sẽ được kết nối thành một hoặc nhiều đơn vị bằng ống thép không gỉ và một máy bơm chân không chuyên dụng nhỏ sẽ được sử dụng để hút chân không các ống tại hiện trường. Máy bơm chân không đặc biệt có hệ thống tự động theo dõi chân không bất cứ lúc nào và hút chân không khi cần thiết. Hệ thống hoạt động 24 giờ một ngày.

Nhược điểm của Hệ thống bơm chân không động là độ chân không cần phải được duy trì bằng điện.

Ưu điểm của Hệ thống bơm chân không động là độ chân không rất ổn định. Nó được sử dụng ưu tiên trong môi trường trong nhà và các yêu cầu hiệu suất chân không của các dự án rất cao.

Hệ thống bơm chân không động của chúng tôi, toàn bộ máy bơm chân không tích hợp di động đặc biệt để đảm bảo thiết bị hút chân không, bố trí thuận tiện và hợp lý để đảm bảo hiệu quả của chân không, chất lượng của các phụ kiện chân không để đảm bảo chất lượng chân không.

Đối với dự án MBE, vì thiết bị nằm trong phòng sạch, và thiết bị chạy trong thời gian dài. Hầu hết hệ thống đường ống cách nhiệt chân không nằm trong không gian kín trên lớp xen kẽ của phòng sạch. Không thể thực hiện bảo trì chân không cho hệ thống đường ống trong tương lai. Điều này sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến hoạt động lâu dài của hệ thống. Do đó, dự án MBE sử dụng hầu hết Hệ thống bơm chân không động.

2

Hệ thống giảm áp suất

Hệ thống giảm áp của đường ống chính áp dụng Nhóm van giảm áp an toàn. Nhóm van giảm áp an toàn được sử dụng như một hệ thống bảo vệ an toàn khi áp suất quá cao, đường ống VI không thể điều chỉnh trong quá trình sử dụng bình thường

Van an toàn là một thành phần quan trọng để đảm bảo hệ thống đường ống không bị quá áp, vận hành an toàn, vì vậy nó rất cần thiết trong quá trình vận hành đường ống. Nhưng van an toàn theo quy định, phải được gửi đi kiểm tra hàng năm. Khi một van an toàn được sử dụng và một van an toàn khác được chuẩn bị, khi một van an toàn được tháo ra, van an toàn kia vẫn nằm trong hệ thống đường ống để đảm bảo hoạt động bình thường của đường ống.

Nhóm van an toàn bao gồm hai van an toàn DN15, một van để sử dụng và một van để dự phòng. Trong hoạt động bình thường, chỉ có một van an toàn được kết nối với hệ thống đường ống VI và hoạt động bình thường. Van an toàn còn lại được ngắt kết nối khỏi đường ống bên trong và có thể được thay thế bất cứ lúc nào. Hai van an toàn được kết nối và ngắt thông qua trạng thái chuyển mạch van bên.

Nhóm van xả an toàn được trang bị đồng hồ đo áp suất để kiểm tra áp suất của hệ thống đường ống bất cứ lúc nào.

Nhóm van xả an toàn được trang bị van xả. Nó có thể được sử dụng để xả không khí trong đường ống khi xả và nitơ có thể được xả khi hệ thống nitơ lỏng đang chạy.

dav

Thiết bị đông lạnh HL

HL Cryogenic Equipment được thành lập vào năm 1992 là một thương hiệu trực thuộc Công ty Thiết bị Cryogenic Thành Đô tại Trung Quốc. HL Cryogenic Equipment cam kết thiết kế và sản xuất Hệ thống đường ống Cryogenic cách nhiệt chân không cao và Thiết bị hỗ trợ liên quan.

Trong thế giới thay đổi nhanh chóng ngày nay, việc cung cấp công nghệ tiên tiến trong khi tối đa hóa tiết kiệm chi phí cho khách hàng là một nhiệm vụ đầy thách thức. Trong 30 năm, Công ty Thiết bị Nhiệt độ thấp HL trong hầu hết các thiết bị và ngành công nghiệp nhiệt độ thấp đều có bối cảnh ứng dụng sâu hơn, tích lũy được nhiều kinh nghiệm và đáng tin cậy, đồng thời liên tục khám phá và nỗ lực theo kịp những phát triển mới nhất trong mọi lĩnh vực của cuộc sống, cung cấp cho khách hàng các giải pháp mới, thiết thực và hiệu quả, giúp khách hàng của chúng tôi cạnh tranh hơn trên thị trường.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Thời gian đăng: 25-08-2021

Để lại tin nhắn của bạn