Việc sản xuất và thiết kế Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không để vận chuyển nitơ lỏng là trách nhiệm của nhà cung cấp. Đối với dự án này, nếu nhà cung cấp không có điều kiện đo đạc tại chỗ thì nhà cung cấp bản vẽ hướng đường ống. Sau đó, nhà cung cấp sẽ thiết kế Hệ thống đường ống VI cho các kịch bản nitơ lỏng.

Nhà cung cấp phải hoàn thành thiết kế tổng thể của hệ thống đường ống bởi các nhà thiết kế có kinh nghiệm theo bản vẽ, thông số thiết bị, điều kiện địa điểm, đặc tính nitơ lỏng và các yếu tố khác do người yêu cầu cung cấp.

Nội dung thiết kế bao gồm các loại phụ kiện hệ thống, xác định vật liệu và thông số kỹ thuật của đường ống bên trong và bên ngoài, thiết kế sơ đồ cách nhiệt, sơ đồ phần đúc sẵn, hình thức kết nối giữa các phần ống, giá đỡ ống bên trong. , số lượng và vị trí của van chân không, loại bỏ phớt khí, yêu cầu về chất lỏng đông lạnh của thiết bị đầu cuối, v.v. Kế hoạch này phải được nhân viên chuyên môn của người yêu cầu xác minh trước khi sản xuất.

Nội dung của thiết kế Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không rất rộng, ở đây đề cập đến các ứng dụng HASS và thiết bị MBE trong một số vấn đề thường gặp, một cuộc trò chuyện đơn giản.

Đường ống VI

Bể chứa nitơ lỏng thường dài từ ứng dụng HASS hoặc thiết bị MBE. Khi ống cách nhiệt chân không đi vào bên trong tòa nhà, cần phải tránh nó một cách hợp lý tùy theo cách bố trí phòng trong tòa nhà và vị trí của đường ống hiện trường và ống dẫn khí. Vì vậy, vận chuyển nitơ lỏng đến thiết bị ít nhất phải hàng trăm mét đường ống.

Bởi vì bản thân nitơ lỏng nén chứa một lượng lớn khí, cùng với khoảng cách vận chuyển, ngay cả ống đoạn nhiệt chân không cũng sẽ tạo ra một lượng lớn nitơ trong quá trình vận chuyển. Nếu nitơ không được thải ra hoặc lượng phát thải quá thấp không đáp ứng yêu cầu sẽ gây ra hiện tượng cản khí và dẫn đến dòng nitơ lỏng kém, dẫn đến tốc độ dòng chảy giảm đáng kể.

Nếu tốc độ dòng chảy không đủ, không thể kiểm soát được nhiệt độ trong buồng nitơ lỏng của thiết bị, điều này cuối cùng có thể dẫn đến hư hỏng thiết bị hoặc chất lượng sản phẩm.

Vì vậy cần phải tính toán lượng nitơ lỏng được sử dụng bởi thiết bị đầu cuối (Ứng dụng HASS hoặc thiết bị MBE). Đồng thời, thông số kỹ thuật của đường ống cũng được xác định theo chiều dài và hướng của đường ống.

Bắt đầu từ bể chứa nitơ lỏng, nếu đường ống chính của ống/ống cách nhiệt chân không là DN50 (đường kính trong φ50 mm), ống/vòi nhánh VI của nó là DN25 (đường kính trong φ25 mm) và ống giữa ống nhánh và thiết bị đầu cuối là DN15 (đường kính trong φ15 mm). Các phụ kiện khác cho hệ thống đường ống VI, bao gồm Bộ tách pha, Bộ khử khí, Lỗ thoát khí tự động, Van ngắt VI/đông lạnh (khí nén), Van điều chỉnh lưu lượng khí nén VI, Van kiểm tra VI/Đông lạnh, bộ lọc VI, Van cứu trợ an toàn, Hệ thống thanh lọc, và bơm chân không, v.v.

Máy tách pha đặc biệt MBE

Mỗi bộ tách pha áp suất thông thường đặc biệt MBE có các chức năng sau:

1. Cảm biến mức chất lỏng và hệ thống kiểm soát mức chất lỏng tự động và được hiển thị kịp thời thông qua hộp điều khiển điện.

2. Chức năng giảm áp suất: đầu vào chất lỏng của thiết bị phân tách được trang bị hệ thống phụ trợ phân tách, đảm bảo áp suất nitơ lỏng 3-4 bar trong đường ống chính. Khi vào Bộ tách pha, giảm dần áp suất xuống 1Bar.

3. Điều chỉnh dòng chảy vào chất lỏng: hệ thống kiểm soát độ nổi được bố trí bên trong Bộ tách pha. Chức năng của nó là tự động điều chỉnh lượng chất lỏng nạp vào khi mức tiêu thụ nitơ lỏng tăng hoặc giảm. Điều này có ưu điểm là làm giảm sự dao động mạnh của áp suất do một lượng lớn nitơ lỏng xâm nhập khi van khí nén đầu vào được mở và ngăn ngừa tình trạng quá áp.

4. Chức năng đệm, thể tích hiệu dụng bên trong thiết bị phân tách đảm bảo lưu lượng tức thời tối đa của thiết bị.

5. Hệ thống thanh lọc: luồng không khí và hơi nước trong thiết bị phân tách trước khi đi qua nitơ lỏng và xả nitơ lỏng trong thiết bị phân tách sau khi đi qua nitơ lỏng.

6. Chức năng tự động giảm quá áp: Thiết bị khi ban đầu đi qua nitơ lỏng hoặc trong những trường hợp đặc biệt sẽ dẫn đến sự gia tăng quá trình khí hóa nitơ lỏng, dẫn đến quá áp tức thời của toàn bộ hệ thống. Bộ tách pha của chúng tôi được trang bị Van giảm áp an toàn và Nhóm van giảm áp an toàn, có thể đảm bảo hiệu quả hơn sự ổn định của áp suất trong bộ tách và ngăn thiết bị MBE bị hư hỏng do áp suất quá cao.

7. Hộp điều khiển điện, hiển thị thời gian thực về mức chất lỏng và giá trị áp suất, có thể đặt mức chất lỏng trong thiết bị phân tách và nitơ lỏng thành lượng quan hệ điều khiển. Đồng thời. Trong trường hợp khẩn cấp, phanh thủ công bộ tách khí lỏng vào van điều khiển chất lỏng để đảm bảo an toàn cho nhân viên và thiết bị tại chỗ.

Bộ khử khí đa lõi cho các ứng dụng HASS

Bể chứa nitơ lỏng ngoài trời chứa một lượng lớn nitơ vì nó được lưu trữ và vận chuyển dưới áp suất. Trong hệ thống này, khoảng cách vận chuyển đường ống dài hơn, có nhiều khuỷu tay hơn và lực cản lớn hơn, điều này sẽ gây ra hiện tượng khí hóa một phần nitơ lỏng. Ống cách nhiệt chân không là cách tốt nhất để vận chuyển nitơ lỏng hiện nay, nhưng rò rỉ nhiệt là không thể tránh khỏi, điều này cũng sẽ dẫn đến khí hóa một phần nitơ lỏng. Tóm lại, nitơ lỏng chứa một lượng lớn nitơ, dẫn đến tạo ra lực cản khí, dẫn đến dòng nitơ lỏng không được trơn tru.

Thiết bị xả trên đường ống cách nhiệt chân không, nếu không có thiết bị xả hoặc thể tích khí thải không đủ sẽ dẫn đến hiện tượng cản khí. Một khi lực cản khí được hình thành, khả năng vận chuyển nitơ lỏng sẽ giảm đi rất nhiều.

Bộ khử khí đa lõi do công ty chúng tôi thiết kế độc quyền có thể đảm bảo lượng nitơ thải ra từ ống nitơ lỏng chính ở mức tối đa và ngăn chặn sự hình thành lực cản khí. Và Bộ khử khí đa lõi có đủ thể tích bên trong, có thể đóng vai trò là bể chứa đệm, có thể đáp ứng hiệu quả nhu cầu về dòng chảy tức thời tối đa của đường ống giải pháp.

Cấu trúc đa lõi được cấp bằng sáng chế độc đáo, khả năng xả hiệu quả hơn các loại máy tách khác của chúng tôi.

Tiếp tục bài viết trước, có một số vấn đề cần quan tâm khi thiết kế giải pháp Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không cho các ứng dụng đông lạnh trong ngành công nghiệp chip.

Hai loại hệ thống đường ống cách nhiệt chân không

Có hai loại Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không: Hệ thống VI tĩnh và Hệ thống bơm chân không động.

Hệ thống VI tĩnh có nghĩa là sau khi mỗi đường ống được sản xuất tại nhà máy, nó sẽ được hút chân không đến mức chân không quy định trên bộ phận bơm và bịt kín. Trong quá trình lắp đặt và đưa vào sử dụng tại hiện trường, sau một thời gian nhất định không cần phải sơ tán lại hiện trường.

Ưu điểm của Hệ thống VI tĩnh là chi phí bảo trì thấp. Sau khi hệ thống đường ống được đưa vào sử dụng, cần phải bảo trì vài năm sau đó. Hệ thống chân không này phù hợp với các hệ thống không yêu cầu làm mát cao và có không gian mở để bảo trì tại chỗ.

Nhược điểm của Hệ thống VI tĩnh là độ chân không giảm theo thời gian. Bởi vì tất cả các vật liệu đều luôn thải ra các khí dạng vết, điều này được xác định bởi các tính chất vật lý của vật liệu. Vật liệu bên trong ống VI có thể làm giảm lượng khí thải ra trong quá trình xử lý nhưng không thể cách ly hoàn toàn. Điều này sẽ dẫn đến độ chân không của môi trường chân không kín sẽ ngày càng thấp, ống cách nhiệt chân không sẽ dần yếu đi khả năng làm mát.

Hệ thống bơm chân không động có nghĩa là sau khi chế tạo và hình thành đường ống, đường ống vẫn được sơ tán trong nhà máy theo quy trình phát hiện rò rỉ nhưng chân không không được niêm phong trước khi giao hàng. Sau khi hoàn tất lắp đặt tại hiện trường, lớp chân không của tất cả các đường ống phải được kết nối thành một hoặc nhiều bộ phận bằng ống thép không gỉ và phải sử dụng bơm chân không nhỏ chuyên dụng để hút bụi các đường ống tại hiện trường. Bơm chân không đặc biệt có hệ thống tự động theo dõi chân không bất cứ lúc nào và hút chân không khi cần thiết. Hệ thống chạy 24 giờ một ngày.

Nhược điểm của Hệ thống bơm chân không động là chân không cần được duy trì bằng điện.

Ưu điểm của Hệ thống bơm chân không động là mức độ chân không rất ổn định. Nó được ưu tiên sử dụng trong môi trường trong nhà và yêu cầu hiệu suất chân không của các dự án rất cao.

Hệ thống bơm chân không động của chúng tôi, toàn bộ thiết bị di động tích hợp bơm chân không đặc biệt để đảm bảo thiết bị hút chân không, bố trí thuận tiện và hợp lý để đảm bảo hiệu quả của chân không, chất lượng của các phụ kiện chân không để đảm bảo chất lượng của chân không.

Đối với dự án MBE, do thiết bị ở trong phòng sạch, thiết bị hoạt động trong thời gian dài. Hầu hết hệ thống đường ống cách nhiệt chân không đều nằm trong không gian kín trên lớp xen kẽ của phòng sạch. Không thể thực hiện bảo trì chân không cho hệ thống đường ống trong tương lai. Điều này sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến hoạt động lâu dài của hệ thống. Kết quả là dự án MBE sử dụng gần như toàn bộ Hệ thống bơm chân không động.

Hệ thống giảm áp

Hệ thống giảm áp của đường dây chính sử dụng Nhóm Van giảm áp an toàn. Nhóm van giảm áp an toàn được sử dụng như một hệ thống bảo vệ an toàn khi quá áp, Đường ống VI không thể điều chỉnh được trong sử dụng bình thường

Van giảm áp an toàn là bộ phận quan trọng đảm bảo cho hệ thống đường ống không bị quá áp, vận hành an toàn nên rất cần thiết trong quá trình vận hành đường ống. Nhưng van an toàn theo quy định thì phải gửi đi kiểm tra hàng năm. Khi sử dụng một van an toàn và chuẩn bị một van an toàn khác thì khi tháo một van an toàn ra thì van an toàn còn lại vẫn nằm trong hệ thống đường ống để đảm bảo cho đường ống hoạt động bình thường.

Nhóm Van Giảm An Toàn bao gồm hai Van Giảm An toàn DN15, một dành cho sử dụng và một dành cho chế độ chờ. Trong hoạt động bình thường, chỉ có một Van xả an toàn được kết nối với Hệ thống đường ống VI và hoạt động bình thường. Các Van xả an toàn khác được ngắt khỏi đường ống bên trong và có thể được thay thế bất kỳ lúc nào. Hai van an toàn được nối và cắt thông qua trạng thái chuyển mạch van bên.

Nhóm Van giảm áp an toàn được trang bị đồng hồ đo áp suất để kiểm tra áp suất hệ thống đường ống bất cứ lúc nào.

Nhóm van cứu trợ an toàn được cung cấp van xả. Nó có thể được sử dụng để xả không khí trong đường ống khi thanh lọc và nitơ có thể được thải ra khi hệ thống nitơ lỏng đang chạy.

Thiết bị đông lạnh HL

Thiết bị đông lạnh HL được thành lập năm 1992 là thương hiệu trực thuộc Công ty Thiết bị đông lạnh Thành Đô tại Trung Quốc. Thiết bị đông lạnh HL cam kết thiết kế và sản xuất Hệ thống đường ống đông lạnh cách nhiệt chân không cao và Thiết bị hỗ trợ liên quan.

Trong thế giới thay đổi nhanh chóng ngày nay, việc cung cấp công nghệ tiên tiến đồng thời tiết kiệm tối đa chi phí cho khách hàng là một nhiệm vụ đầy thách thức. Trong 30 năm, Công ty Thiết bị đông lạnh HL trong hầu hết các ngành công nghiệp và thiết bị đông lạnh đã đi sâu hơn vào bối cảnh ứng dụng, đã tích lũy được kinh nghiệm phong phú và đáng tin cậy, đồng thời không ngừng khám phá và cố gắng theo kịp những phát triển mới nhất trong mọi tầng lớp xã hội, cung cấp cho khách hàng những giải pháp mới, thiết thực và hiệu quả, giúp khách hàng nâng cao sức cạnh tranh trên thị trường.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .