Tóm tắt về Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không trong ứng dụng đông lạnh của ngành công nghiệp chip

Việc sản xuất và thiết kế Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không để vận chuyển nitơ lỏng là trách nhiệm của nhà cung cấp.Đối với dự án này, nếu nhà cung cấp không có điều kiện đo đạc tại chỗ thì bản vẽ hướng ống cần do nhà cung cấp.Sau đó, nhà cung cấp sẽ thiết kế Hệ thống đường ống VI cho các tình huống nitơ lỏng.

Nhà cung cấp phải hoàn thành thiết kế tổng thể của hệ thống đường ống bởi các nhà thiết kế có kinh nghiệm theo bản vẽ, thông số thiết bị, điều kiện địa điểm, đặc tính nitơ lỏng và các yếu tố khác do người yêu cầu cung cấp.

Nội dung thiết kế bao gồm loại phụ kiện của hệ thống, xác định vật liệu và thông số kỹ thuật của ống bên trong và bên ngoài, thiết kế sơ đồ cách nhiệt, sơ đồ mặt cắt đúc sẵn, hình thức liên kết giữa các đoạn ống, giá đỡ ống bên trong , số lượng và vị trí của van chân không, việc loại bỏ phớt khí, các yêu cầu về chất lỏng đông lạnh của thiết bị đầu cuối, v.v. Sơ đồ này phải được nhân viên chuyên nghiệp của người yêu cầu xác minh trước khi sản xuất.

Nội dung của thiết kế Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không rất rộng, ở đây để ứng dụng HASS và thiết bị MBE trong một số vấn đề phổ biến, một cuộc trò chuyện đơn giản.

1 2

đường ống VI

Bình chứa nitơ lỏng thường dài từ Ứng dụng HASS hoặc thiết bị MBE.Trong khi đường ống cách nhiệt chân không đi vào bên trong tòa nhà, nó cần được tránh một cách hợp lý theo cách bố trí phòng trong tòa nhà và vị trí của đường ống trường và ống dẫn khí.Vì vậy, việc vận chuyển nitơ lỏng đến các thiết bị, đường ống ít nhất cũng dài hàng trăm mét.

Bởi vì bản thân nitơ lỏng nén chứa một lượng khí lớn, cùng với khoảng cách vận chuyển, ngay cả đường ống đoạn nhiệt chân không cũng sẽ tạo ra một lượng lớn nitơ trong quá trình vận chuyển.Nếu nitơ không được thải ra ngoài hoặc lượng khí thải quá thấp so với yêu cầu sẽ gây ra hiện tượng cản khí và dẫn đến dòng chảy của nitơ lỏng kém, dẫn đến tốc độ dòng chảy giảm đi rất nhiều.

Nếu tốc độ dòng chảy không đủ, nhiệt độ trong buồng nitơ lỏng của thiết bị không thể kiểm soát được, điều này cuối cùng có thể dẫn đến hư hỏng thiết bị hoặc chất lượng sản phẩm.

Do đó, cần phải tính toán lượng nitơ lỏng được sử dụng bởi thiết bị đầu cuối (Ứng dụng HASS hoặc thiết bị MBE).Đồng thời, các thông số kỹ thuật của đường ống cũng được xác định theo chiều dài và hướng của đường ống.

Bắt đầu từ bể chứa nitơ lỏng, nếu đường ống chính của ống/ống cách nhiệt chân không là DN50 (đường kính trong φ50 mm), thì ống/ống nhánh VI của nó là DN25 (đường kính trong φ25 mm) và ống giữa ống nhánh và thiết bị đầu cuối là DN15 (đường kính trong φ15 mm).Các phụ kiện khác cho hệ thống đường ống VI, bao gồm Bộ tách pha, Bộ khử khí, Lỗ thông khí tự động, Van ngắt VI/Làm lạnh (khí nén), Van điều chỉnh lưu lượng khí nén VI, Van kiểm tra VI/Làm lạnh, bộ lọc VI, Van xả an toàn, Hệ thống thanh lọc, và Bơm chân không, v.v.

3

Bộ tách pha đặc biệt MBE

Mỗi bộ tách pha áp suất bình thường đặc biệt MBE có các chức năng sau:

1. Cảm biến mức chất lỏng và hệ thống điều khiển mức chất lỏng tự động, và được hiển thị kịp thời thông qua hộp điều khiển điện.

2. Chức năng giảm áp suất: đầu vào chất lỏng của thiết bị phân tách được trang bị hệ thống phụ trợ phân tách, đảm bảo áp suất nitơ lỏng là 3-4 bar trong đường ống chính.Khi vào Bộ tách pha, hãy giảm dần áp suất xuống ≤ 1Bar.

3. Điều chỉnh lưu lượng đầu vào chất lỏng: một hệ thống kiểm soát độ nổi được bố trí bên trong Bộ tách pha.Chức năng của nó là tự động điều chỉnh lượng chất lỏng nạp vào khi mức tiêu thụ nitơ lỏng tăng hoặc giảm.Điều này có ưu điểm là giảm sự dao động mạnh của áp suất gây ra bởi sự xâm nhập của một lượng lớn nitơ lỏng khi mở van khí nén đầu vào và ngăn ngừa quá áp.

4. Chức năng đệm, thể tích hiệu quả bên trong bộ tách đảm bảo lưu lượng tức thời tối đa của thiết bị.

5. Hệ thống thanh lọc: luồng không khí và hơi nước trong thiết bị phân tách trước khi đi qua nitơ lỏng và xả nitơ lỏng trong thiết bị phân tách sau khi đi qua nitơ lỏng.

6. Chức năng tự động giảm áp suất: Thiết bị khi ban đầu đi qua nitơ lỏng hoặc trong những trường hợp đặc biệt sẽ dẫn đến sự gia tăng quá trình khí hóa nitơ lỏng, dẫn đến hiện tượng quá áp tức thời của toàn bộ hệ thống.Bộ tách pha của chúng tôi được trang bị Van an toàn và Nhóm van an toàn, có thể đảm bảo hiệu quả hơn sự ổn định của áp suất trong bộ tách và ngăn không cho thiết bị MBE bị hư hỏng do áp suất quá mức.

7. Hộp điều khiển điện, hiển thị mức chất lỏng và giá trị áp suất theo thời gian thực, có thể đặt mức chất lỏng trong bình tách và nitơ lỏng thành lượng quan hệ kiểm soát.Đồng thời.Trong trường hợp khẩn cấp, phanh thủ công bộ tách chất lỏng khí vào van điều khiển chất lỏng, để đảm bảo an toàn cho nhân viên và thiết bị tại hiện trường.

4

Bộ khử khí đa lõi cho các ứng dụng HASS

Bể chứa nitơ lỏng ngoài trời chứa một lượng lớn nitơ vì nó được lưu trữ và vận chuyển dưới áp suất.Trong hệ thống này, khoảng cách vận chuyển đường ống dài hơn, có nhiều khuỷu tay hơn và lực cản lớn hơn, điều này sẽ gây ra quá trình khí hóa một phần nitơ lỏng.Ống cách nhiệt chân không là cách tốt nhất để vận chuyển nitơ lỏng hiện nay, nhưng rò rỉ nhiệt là không thể tránh khỏi, điều này cũng sẽ dẫn đến quá trình khí hóa một phần nitơ lỏng.Tóm lại, nitơ lỏng chứa một lượng lớn nitơ, dẫn đến việc tạo ra lực cản của khí, dẫn đến dòng chảy của nitơ lỏng không trơn tru.

Thiết bị xả trên đường ống cách nhiệt chân không, nếu không có thiết bị xả hoặc lượng khí xả không đủ sẽ dẫn đến hiện tượng cản khí.Khi điện trở khí được hình thành, khả năng vận chuyển nitơ lỏng sẽ giảm đi rất nhiều.

Bộ khử khí đa lõi do công ty chúng tôi thiết kế độc quyền có thể đảm bảo lượng nitơ thải ra từ ống nitơ lỏng chính ở mức tối đa và ngăn chặn sự hình thành lực cản khí.Và Bộ khử khí đa lõi có đủ thể tích bên trong, có thể đóng vai trò là bể chứa đệm, có thể đáp ứng hiệu quả nhu cầu của dòng dung dịch tức thời tối đa.

Cấu trúc đa lõi độc đáo đã được cấp bằng sáng chế, khả năng xả hiệu quả hơn so với các loại thiết bị phân tách khác của chúng tôi.

5
Tiếp tục với bài viết trước, có một số vấn đề cần được xem xét khi thiết kế các giải pháp cho Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không cho các ứng dụng đông lạnh trong ngành công nghiệp chip.

1

Hai loại hệ thống đường ống cách nhiệt chân không

Có hai loại Hệ thống đường ống cách nhiệt chân không: Hệ thống VI tĩnh và Hệ thống bơm chân không động.

Hệ thống VI tĩnh có nghĩa là sau khi mỗi đường ống được sản xuất tại nhà máy, nó được hút chân không đến độ chân không quy định trên bộ phận bơm và được niêm phong.Trong quá trình lắp đặt và đưa vào sử dụng tại hiện trường, một khoảng thời gian nhất định không cần phải sơ tán lại hiện trường.

Ưu điểm của Hệ thống VI tĩnh là chi phí bảo trì thấp.Sau khi hệ thống đường ống được đưa vào sử dụng, vài năm sau cần phải bảo trì.Hệ thống chân không này phù hợp với các hệ thống không đòi hỏi yêu cầu làm mát cao và những nơi mở để bảo trì tại chỗ.

Nhược điểm của Hệ thống VI tĩnh là độ chân không giảm dần theo thời gian.Bởi vì tất cả các vật liệu luôn thải ra các loại khí, điều này được xác định bởi các tính chất vật lý của vật liệu.Vật liệu trong áo ống VI có thể làm giảm lượng khí thoát ra trong quá trình, nhưng không thể cách ly hoàn toàn.Điều này sẽ dẫn đến chân không của môi trường chân không kín, sẽ ngày càng thấp hơn, ống cách nhiệt chân không sẽ dần làm suy yếu khả năng làm mát.

Hệ thống bơm chân không động có nghĩa là sau khi đường ống được chế tạo và hình thành, đường ống vẫn được hút chân không trong nhà máy theo quy trình phát hiện rò rỉ, nhưng chân không không được bịt kín trước khi giao hàng.Sau khi hoàn thành việc lắp đặt tại hiện trường, các lớp chân không của tất cả các đường ống phải được kết nối thành một hoặc nhiều đơn vị bằng ống thép không gỉ và một máy bơm chân không chuyên dụng nhỏ sẽ được sử dụng để hút chân không các đường ống tại hiện trường.Máy bơm chân không đặc biệt có hệ thống tự động theo dõi độ chân không bất cứ lúc nào và hút chân không khi cần thiết.Hệ thống hoạt động 24 giờ một ngày.

Nhược điểm của Hệ thống bơm chân không động là chân không cần được duy trì bằng điện.

Ưu điểm của Hệ thống bơm chân không động là độ chân không rất ổn định.Nó được ưu tiên sử dụng trong môi trường trong nhà và các yêu cầu về hiệu suất chân không của các dự án rất cao.

Hệ thống bơm chân không động của chúng tôi, toàn bộ máy bơm chân không tích hợp di động đặc biệt để đảm bảo thiết bị hút chân không, bố trí thuận tiện và hợp lý để đảm bảo hiệu quả của chân không, chất lượng của các phụ kiện chân không để đảm bảo chất lượng của chân không.

Đối với dự án MBE, vì thiết bị ở trong phòng sạch và thiết bị chạy trong thời gian dài.Hầu hết các hệ thống đường ống cách nhiệt chân không đều nằm trong không gian kín trên lớp xen kẽ của phòng sạch.Không thể thực hiện bảo trì chân không của hệ thống đường ống trong tương lai.Điều này sẽ có ảnh hưởng nghiêm trọng đến hoạt động lâu dài của hệ thống.Do đó, dự án MBE sử dụng hầu hết tất cả Hệ thống bơm chân không động.

2

Hệ thống giảm áp

Hệ thống giảm áp của dòng chính sử dụng Nhóm van giảm áp an toàn.Nhóm van xả an toàn được sử dụng như một hệ thống bảo vệ an toàn khi quá áp, VI Piping không thể điều chỉnh trong sử dụng bình thường

Van xả an toàn là bộ phận quan trọng đảm bảo hệ thống đường ống không bị quá áp, vận hành an toàn nên rất cần thiết trong quá trình vận hành đường ống.Còn van an toàn thì theo quy định, hàng năm phải gửi đi kiểm định.Khi sử dụng 1 van an toàn và chuẩn bị sẵn van còn lại, khi tháo 1 van an toàn ra thì van an toàn còn lại vẫn nằm trong hệ thống đường ống để đảm bảo cho đường ống hoạt động bình thường.

Nhóm van giảm áp an toàn bao gồm hai Van giảm áp an toàn DN15, một để sử dụng và một để dự phòng.Trong hoạt động bình thường, chỉ có một Van giảm áp an toàn được kết nối với Hệ thống đường ống VI và hoạt động bình thường.Các Van xả an toàn khác được ngắt khỏi đường ống bên trong và có thể được thay thế bất kỳ lúc nào.Hai van an toàn được kết nối và cắt thông qua trạng thái chuyển đổi van bên.

Nhóm van xả an toàn được trang bị đồng hồ đo áp suất để kiểm tra áp suất hệ thống đường ống bất cứ lúc nào.

Nhóm van xả an toàn được cung cấp một van xả.Nó có thể được sử dụng để xả không khí trong đường ống khi thanh lọc, và nitơ có thể được thải ra khi hệ thống nitơ lỏng đang chạy.

dav

Thiết bị đông lạnh HL

Thiết bị đông lạnh HL được thành lập năm 1992 là một thương hiệu trực thuộc Công ty thiết bị đông lạnh Thành Đô ở Trung Quốc.Thiết bị đông lạnh HL cam kết thiết kế và sản xuất Hệ thống đường ống đông lạnh cách nhiệt chân không cao và Thiết bị hỗ trợ liên quan.

Trong thế giới thay đổi nhanh chóng ngày nay, việc cung cấp công nghệ tiên tiến đồng thời tiết kiệm chi phí tối đa cho khách hàng là một nhiệm vụ đầy thách thức.Trong 30 năm, Công ty Thiết bị đông lạnh HL trong hầu hết các thiết bị đông lạnh và ngành công nghiệp đều có hiểu biết sâu hơn về bối cảnh ứng dụng, đã tích lũy kinh nghiệm phong phú và đáng tin cậy, đồng thời liên tục khám phá và cố gắng theo kịp những phát triển mới nhất trong mọi lĩnh vực của cuộc sống, cung cấp cho khách hàng các giải pháp mới, thiết thực và hiệu quả, giúp khách hàng của chúng tôi cạnh tranh hơn trên thị trường.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Thời gian đăng: 25-Aug-2021